[发明专利]研磨装置有效
| 申请号： | 201811254519.7 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109159020B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 杨俊铖;王先彬 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;李向英 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
1.一种研磨装置，包括：
研磨平台；
研磨垫，位于所述研磨平台上；
研磨液输出结构，位于所述研磨垫上方，用于将研磨液输出置所述研磨垫上；以及
研磨头，位于所述研磨垫上方，用于固定待研磨产品，并使所述待研磨产品与所述研磨垫接触，
所述研磨装置还包括清除装置，与所述研磨液输出结构相连，位于所述研磨垫上方，用于提供移除使用后的所述研磨液的气流，
其中，当所述研磨平台带动所述研磨垫转动时，初始的所述研磨液与所述待研磨产品接触，所述清除装置用于防止被使用后的所述研磨液与初始的所述研磨液混合。
2.根据权利要求1所述的研磨装置，其中，所述研磨液输出结构与所述清除装置均与所述研磨垫分隔。
3.根据权利要求2所述的研磨装置，其中，所述清除装置包括多个第一管道，与所述研磨液输出结构相连，用于提供所述气流，以将使用后的所述研磨液吹离所述研磨垫。
4.根据权利要求2所述的研磨装置，其中，所述清除装置包括多个第二管道，与所述研磨液输出结构相连，用于提供所述气流，以将使用后的所述研磨液吸入所述第二管道。
5.根据权利要求2所述的研磨装置，其中，所述清除装置包括：
多个第一管道，与所述研磨液输出结构相连，用于提供所述气流，以将使用后的所述研磨液吹离所述研磨垫；以及
多个第二管道，与所述研磨液输出结构相连，用于提供所述气流，以将使用后的所述研磨液吸入所述第二管道。
6.根据权利要求3或5所述的研磨装置，其中，所述第一管道朝向所述研磨垫的边缘。
7.根据权利要求4或5所述的研磨装置，其中，所述第二管道朝向所述研磨垫。
8.根据权利要求5所述的研磨装置，其中，所述第一管道位于所述第二管道上方。
9.根据权利要求1至5任一所述的研磨装置，其中，所述研磨液输出结构包括：
固定部件，至少部分位于所述研磨垫上方；以及
多个研磨液输出部，位于所述固定部件的端部，并且靠近所述研磨垫的中部，用于输出所述研磨液；
其中，所述清除装置与所述固定部件固定连接。
10.根据权利要求9所述的研磨装置，还包括研磨垫调节器，位于所述研磨垫上方，用于将使用过的所述研磨液从所述研磨垫上移除。
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