[发明专利]基于设备状态的物料调度方法及物料调度系统

权利要求书

1.一种基于设备状态的物料调度方法，将所述设备中的腔室作为站点，其特征在于，包括以下步骤：

S1、根据晶片的数量和每一所述晶片经历的工序的数量，建立工序集合；

S2、计算所述工序集合中每一未执行工序的等待时间，并确定等待时间最短的执行序列；

S3、按照所述执行序列执行所述工序；

S4、判断所述执行序列中是否还有未执行工序，若是，则返回步骤S2，若否，则结束。

2.根据权利要求1所述的基于设备状态的物料调度方法，其特征在于，在执行步骤S3之前还包括：

S31、判断待执行工序的所述站点是否为异常站点，若是异常站点，则从所述执行序列中移除所述异常站点执行的工序，并返回步骤S2重新确定所述执行序列；若不是异常站点，则进行步骤S3。

3.根据权利要求2所述的基于设备状态的物料调度方法，其特征在于，步骤S3包括：

S32、判断待执行工序的所述站点中是否具有闲置工艺位，若有，则进行步骤S33；若无，则返回判断待执行工序的所述站点中是否具有闲置工艺位；

S33、按照所述执行序列执行所述工序。

4.根据权利要求1所述的基于设备状态的物料调度方法，其特征在于，步骤S1还包括：

建立工序状态列表，其中，所述工序状态列表包括所有工序和每一工序对应的工序状态，所述工序状态包括已执行和未执行；

且步骤S3还包括：

S34、将所述工序状态列表中该工序对应的工序状态变更为已执行。

5.根据权利要求1所述的基于设备状态的物料调度方法，其特征在于，所述步骤S3还包括：在按照所述执行序列执行所述工序之后，将已执行的工序删除。

6.一种物料调度系统，包括用于执行任务的站点，其特征在于，还包括，

计算线程模块，用于根据晶片的数量和每一所述晶片经历的工序的数量建立工序集合，并且，计算所述工序集合中每一未执行工序的等待时间，并确定等待时间最短的执行序列；

执行模块，用于按所述执行序列执行所述待执行任务；

判断模块，用于判断所述执行序列中是否还有未执行工序，若是，则指示所述计算线程模块重新计算所述工序集合中每一未执行工序的等待时间，并确定等待时间最短的执行序列；若否，则结束。

7.根据权利要求6所述的物料调度系统，其特征在于，还包括守护线程模块和物料移动序列模块，其中，

守护线程模块，用于判断待执行工序的所述站点是否为异常站点，若是，则发送移动序列指示；若否，则指示所述执行模块按所述执行序列执行所述待执行工序；

物料移动序列模块，用于在接收到所述移动序列指示后，从所述执行序列中移除所述异常站点执行的工序，并指示所述计算线程模块重新确定等待时间最短的执行序列。

8.根据权利要求7所述的物料调度系统，其特征在于，所述执行模块还用于，判断所述待执行工序的所述站点中是否具有闲置工艺位，若是，按所述执行序列执行所述待执行工序，若否，则判断所述待执行工序的所述站点中是否具有闲置工艺位。

9.根据权利要求6所述的物料调度设备，其特征在于，还包括状态记录模块，用于建立并记录工序状态列表，其中，所述工序状态列表包括所有工序和每一工序对应的工序状态，所述工序状态包括已执行和未执行；

所述执行模块还用于在执行每一工序之后，指示所述状态记录模块将该工序的工序状态变更为已执行。

10.根据权利要求6所述的物料调度设备，其特征在于，所述执行模块还用于在按所述执行序列执行所述待执行任务之后，指示所述计算线程模块将已执行的工序删除。