[发明专利]用于微波半导体集成电路电气特性测量的校准方法及装置

权利要求书

1.一种用于微波半导体集成电路电气特性测量的校准装置，其特征在于，包括主控单元、微波半导体器件多参数测试设备、校准通道路由单元、功率校准模块、标准信号发生模块和矢量网络分析仪校准模块；其中

所述主控单元被配置为通过外部程控与供电功能，接收来自微波半导体器件多参数测试设备的校准配置信息和程控命令；和

通过校准通道路由单元为测试端口分别构建相应的输出信号功率校准通道、信号接收特性校准通道和散射参数测试特性校准通道；

所述功率校准模块、标准信号发生模块和矢量网络分析仪校准模块被配置为通过单次连接方式进行相应参数特性测试的自动校准；

所述功率校准模块用于微波半导体器件多参数测试设备的多通道输出信号功率校准；

所述标准信号发生模块用于微波半导体器件多参数测试设备的多通道信号接收特性校准；

所述矢量网络分析仪校准模块用于微波半导体器件多参数测试设备的多通道散射参数测试特性校准；

校准装置的测试标定和内部标定数据的调用和运算处理，使得测试端面、校准装置的校准端面和校准装置内部的校准设备端面全部统一在同一个端面。

2.如权利要求1所述的一种用于微波半导体集成电路电气特性测量的校准装置，其特征在于，所述校准通道路由单元用于与微波半导体器件多参数测试设备的测试端口适配互连并按测试要求构建需要的校准通道。

3.如权利要求1所述的一种用于微波半导体集成电路电气特性测量的校准装置，其特征在于，所述校准装置还包括存储处理单元，所述存储处理单元与主控模块相连。

4.如权利要求3所述的一种用于微波半导体集成电路电气特性测量的校准装置，其特征在于，所述存储处理单元被配置为用于校准装置自身特性标定数据的存储以及调用处理，完成校准装置自身特性标定数据的自动识别与校准后去除处理。

5.如权利要求4所述的一种用于微波半导体集成电路电气特性测量的校准装置，其特征在于，所述校准装置自身特性标定数据为从校准装置的校准端面到校准装置内部的各校准设备之间由通道固有特性所引入的系统误差，所述系统误差通过测量标定后作为标定数据存储在存储处理单元中。

6.一种用于微波半导体集成电路电气特性测量的校准方法，包括如权利要求1-5任一所述的校准装置，其特征在于，具体包括：

接收校准配置信息和程控命令；

根据实际测试应用需求，构建相应的输出信号功率校准通道、信号接收特性校准通道和散射参数测试特性校准通道；

单次自动进行多通道输出信号功率校准、多通道信号接收特性校准和多通道散射参数测试特性校准；

所述校准方法还包括根据校准装置的测试标定和校准装置自身特性标定数据的调用与运算处理，完成校准装置自身特性标定数据的自动识别与校准后去除处理。