[发明专利]一种气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置在审
申请号: | 201811265205.7 | 申请日: | 2018-10-29 |
公开(公告)号: | CN109596566A | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 张志荣;董凤忠;孙鹏帅;夏滑;李哲;崔小娟;庞涛;吴边 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | G01N21/39 | 分类号: | G01N21/39;G05D27/02 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 程华 |
地址: | 230000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体检测 吸收腔体 电控比例阀 控制器连接 压力传感器 加热板 热电偶 体内部 吸收腔 减压阀 一体化控制装置 真空泵 出气管路 检测结果 腔体内部 外壁包裹 控制器 进气管 减小 内壁 | ||
1.一种气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置,其特征在于,所述装置包括:气体检测吸收腔体、减压阀、电控比例阀、真空泵、压力传感器、热电偶、加热板和控制器;所述气体检测吸收腔体的进气管路上设置有所述电控比例阀和所述减压阀,所述气体检测吸收腔体的出气管路上设置有所述电控比例阀和所述真空泵,所述压力传感器与所述气体检测吸收腔体连接,两个所述电控比例阀和所述压力传感器分别与所述控制器连接;所述热电偶位于所述气体检测吸收腔体的内壁,所述热电偶与所述控制器连接,所述气体检测吸收腔体的外壁包裹有所述加热板,所述加热板与所述控制器连接。
2.根据权利要求1所述的气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置,其特征在于,所述装置还包括隔热保温层,所述隔热保温层位于所述加热板的外侧。
3.根据权利要求1所述的气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置,其特征在于,所述热电偶的数量为三个,各所述热电偶分别位于所述气体检测吸收腔体内壁的两端和中部位置。
4.根据权利要求3所述的气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置,其特征在于,所述加热板的数量为三段,各所述加热板分别以三个所述热电偶中心位置缠绕。
5.根据权利要求3所述的气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置,其特征在于,所述装置包括加热板控制器,所述加热板控制器的一端与所述控制器连接,另一端与所述加热板连接。
6.根据权利要求1所述的气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置,其特征在于,所述装置还包括缠绕加热带,所述缠绕加热带位于所述气体检测吸收腔体的进气管路上。
7.根据权利要求1所述的气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置,其特征在于,所述控制器为内部采用模糊自适应比例积分微分循环控制算法的控制器。
8.根据权利要求1所述的气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置,其特征在于,所述装置还包括模拟数字转换器,所述模拟数字转换器的输入端与所述压力传感器连接,所述模拟数字转换器的输出端与所述控制器连接。
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