[发明专利]一种闭环监控激光清洗设备

权利要求书

1.一种闭环监控激光清洗设备，包括，冷水机（1）、冷水机电源线（2）、激光器主机（3）、外部激光光纤（4）、激光清洗加工头（5）、外部激光束（6）、处理工件（7）、光谱仪数据线（8）、光谱仪（9）、光谱仪信号输出线（10）、控制电缆（11）、控制及电源系统（12）、动力电源线缆（13），其中在激光器主机（3）前通过冷水机电源线（2）与冷水机（1）相连接，激光清洗加工头（5）通过外部激光光纤（4）与激光器主机（3）连接，控制及电源系统（12）通过控制电缆（11）和动力电源线缆（13）控制激光器主机（3），光谱仪（9）通过光谱仪信号输出线（10）连接到控制电源系统（12）上，光谱仪（9）通过光谱仪数据线（8）连接到激光清洗加工头（5）上，激光清洗加工头（5）发射的外部激光束（6）照射在处理工（7）表面上，在激光清洗加工头（5）的外面是安全罩壳（5-3），抽气口（5-1）通过连接杆（5-2）连接在安全罩壳（5-3）的前面，在安全罩壳（5-3）内部的上面是光谱仪（5-4），光谱仪（5-4）的后面连接着光谱仪数据线（5-6），在安全罩壳（5-3）的外面前部是聚焦场镜（5-15），在安全罩壳（5-3）内部的下面是扫描振镜片（5-11），在安全罩壳（5-3）后面安装有激光准直器（5-7），内部激光光纤（5-9）通过光纤头（5-8）连接到激光准直器（5-7）上，激光器主机（3）发出的激光束通过激光准直器（5-7）进入安全罩壳（5-3），内部激光束（5-10）照射在半透半反镜（5-5）上，通过扫描振镜片（5-11）反射到聚焦场镜（5-15）上，内部激光束（5-10）通过聚焦场镜（5-15）后聚焦到处理工件（7）上，在处理工件（7）上产生了飞溅材料（5-17）。