[发明专利]基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器及其制备方法在审
申请号: | 201811267797.6 | 申请日: | 2018-10-29 |
公开(公告)号: | CN109659431A | 公开(公告)日: | 2019-04-19 |
发明(设计)人: | 修飞;花蔚蔚 | 申请(专利权)人: | 南京工业大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人: | 周中民 |
地址: | 210009 江苏省南京市鼓*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 配位聚合物薄膜 四胺 制备 闪存存储器 非易失性闪存存储器 循环稳定性 开启电压 依次设置 存储器 电极 开关比 衬底 | ||
1.一种基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器,其特征在于:包括自下而上依次设置的衬底(1)、基于苯四胺的配位聚合物薄膜(2)、上电极(3);其中,所述基于苯四胺的配位聚合物薄膜(2)的厚度为300nm。
2.根据权利要求1所述的基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器,其特征在于:所述衬底(1)的材质为ITO玻璃。
3.根据权利要求1所述的基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器,其特征在于:所述基于苯四胺的配位聚合物薄膜(2)的材质为配位聚合物钴-苯四胺,其结构式为:
4.根据权利要求1所述的基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器,其特征在于:所述上电极(3)的材质为铝。
5.根据权利要求1或4所述的基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器,其特征在于:所述上电极(3)为多个圆点状电极,其厚度为150nm,直径为500μm。
6.根据权利要求1所述的基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤一,首先,将衬底清洗,然后用氮气吹干净;
步骤二,将配位聚合物钴-苯四胺制备为厚度为300nm的配位聚合物薄膜,并转移至衬底上,自然环境下干燥;
步骤三,将干燥后的配位聚合物薄膜表面覆盖点状的掩模版,使用无机真空镀膜机蒸镀金属铝作为上电极。
7.根据权利要求6所述的基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器的制备方法,其特征在于:所述步骤一中,将衬底分别用去离子水、丙酮、乙醇超声清洗20分钟。
8.根据权利要求6所述的基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器的制备方法,其特征在于:所述步骤二中,采取水热法在溶液表面即空气与水表面得到配位聚合物薄膜。
9.根据权利要求8所述的基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器的制备方法,其特征在于:所述步骤二具体为:取苯四胺四盐酸盐作为配体,溶于去离子水中,得到溶液A,取四水合乙酸钴,溶于去离子水中,得到溶液B,将溶液A与溶液B分别在室温下超声,等其完全溶解后,将溶液A倒入反应容器,随后加入三乙胺,搅拌;将溶液B加入到溶液A中,并搅拌,得到前驱体混合液;将前驱体混合液放入烘箱,设置温度为60℃,反应时间3小时;反应结束后,反应容器底部会有棕黑色物质沉淀,并且在溶液表面,即空气与水的界面处得到一层薄膜,即产物配位聚合物薄膜;其中,通过调控反应物的浓度,得到厚度为300nm的配位聚合物薄膜。
10.根据权利要求9所述的基于苯四胺的配位聚合物薄膜的闪存存储器的制备方法,其特征在于:所述苯四胺四盐酸盐与四水合乙酸钴的质量比为4:1.3,所述前驱体混合液中,苯四胺四盐酸盐的浓度为2mg/mL,四水合乙酸钴的浓度为0.65mg/mL。
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