[发明专利]致动器、光学装置以及投影仪

说明书

本发明提供致动器、光学装置以及投影仪，该致动器能够抑制面内方向以外的意料之外的振动以实现期望的动作，光学装置以及投影仪具有该致动器。在第1梁部(11)和第2梁部(12a、12b)中的至少一方设置有面外振动抑制构造，该面外振动抑制构造抑制可动部(10)在与面内方向垂直的面外方向上振动，由此，能够抑制在与面内方向垂直的面外方向上不经意地发生意料之外的动作。并且，在该情况下，例如与为了旋转驱动而配置马达的这种情况相比，能够实现装置的小型化。

技术领域

本发明涉及例如可安装光学元件的致动器、具有致动器的光学装置以及投影仪。

背景技术

公知在桁架型致动器中设置有互相垂直的使固有频率大致一致的两个压电元件，并且在它们的交点处还设置有芯片部件，在该桁架型致动器中分别使两个压电元件进行驱动，从而使作为对象的芯片部件以描绘椭圆轨迹的方式进行驱动(参照专利文献1)。

在上述专利文献1中，尽管考虑了与描绘椭圆轨迹的面相关的运动，但没有考虑到该面以外的方向上的振动。然而，预料之外的面以外的方向上的振动有可能带来不良影响。例如，可以想到的是，在利用致动器使配置在光学系统的光路中的光学元件进行动作的情况下，因致动器中的意料之外的振动而导致光路朝向预定之外的方向。

专利文献1：日本特开2000-358387号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供能够抑制面内方向以外的意料之外的振动以实现期望的动作的致动器、具有该致动器的光学装置以及投影仪。

本发明的致动器具有：可动部；第1梁部，其与可动部连接；第2梁部，其与第1梁部连接，并且在与第1梁部不同的方向上延伸；以及驱动部，其借助第1梁部和第2梁部，通过与第1梁部的延伸方向和第2梁部的延伸方向平行的面的面内方向的振动使可动部进行曲线运动，第1梁部和第2梁部中的至少一方具有面外振动抑制构造，该面外振动抑制构造抑制可动部向与面内方向垂直的面外方向振动。

在上述致动器中，在第1梁部和第2梁部中的至少一方设置有面外振动抑制构造，该面外振动抑制构造抑制可动部向与面内方向垂直的面外方向振动，由此，能够抑制在与面内方向垂直的面外方向上不经意地发生意料之外的动作。

在本发明的具体方面中，面外振动抑制构造构成为：在第1梁部和第2梁部的至少一方中，面外方向的厚度比面内方向的厚度厚。在该情况下，能够通过增大面外方向的厚度来提高面外方向的固有频率，从而抑制振动。

在本发明的另一方面中，第1梁部是沿一个方向延伸并且在中央处载置可动部的内梁，第2梁部是设置于第1梁部的两端的一对结构，是沿其他方向延伸的外梁。在该情况下，作为内梁的第1梁部直接使可动部振动，另一方面，第2梁部连同载置可动部的第1梁部一起振动，从而能够在面内方向上产生基于两个振动方向的复合振动。

在本发明的其他方面中，作为内梁的第1梁部具有孔部。在该情况下，能够通过设置孔部而使第1梁部的弹簧常数发生变化，对两个振动方向上的谐振频率进行调整。

在本发明的其他方面中，作为面外振动抑制构造，第1梁部具有互相分离且与延伸方向平行地延伸的多个部件。在该情况下，例如能够抑制与面内方向平行的面朝向面外方向侧的动作(倾斜或歪斜)。

在本发明的其他方面中，还具有振动分离部，该振动分离部设置在第1梁部与第2梁部所交叉的连接部位，使振动分离。在该情况下，以振动分离部为基准来进行向两个振动方向的分离。

在本发明的其他方面中，驱动部沿着第1梁部的延伸方向配置。在该情况下，能够使作为内梁的第1梁部和作为外梁的第2梁部双方可靠地振动。

在本发明的其他方面中，作为借助于驱动部而形成的曲线运动，可动部进行如下运动：维持着在通过来自驱动部的励振而产生的两个振动方向中的至少一个方向上进行移动。在该情况下，能够使可动部进行不会一瞬间停止的移动。