[发明专利]一种新型的耐辐照空间固体润滑剂涂层及制备方法

权利要求书

1.一种新型的耐辐照空间固体润滑剂涂层，固体润滑剂涂层成分为MoS₂颗粒，质量比为85-95份，大小为100-200目，碳纤维颗粒，质量比为5-15份，大小为100-200目，涂层结构均匀、连续、平均厚度为20µm；

所述的新型的耐辐照空间固体润滑剂涂层的制备方法包括试样准备、抛光处理、MoS₂和碳纤维颗粒筛选、沉积涂层、表面擦拭；

具体过程如下：

（1）抛光处理

利用抛光机对LY12试样上下表面进行抛光处理，试样尺寸为ф70mm×10mm，抛光时间2-3min，以试样表面光亮，但不出现氧化现象为宜；

（2）MoS₂和碳纤维颗粒筛选

利用粉碎机或人工将MoS₂颗粒和碳纤维颗粒进行粉碎处理，大小为100目；

（3）沉积涂层

利用磁控溅射仪在LY12试样上下表面进行溅射沉积涂层处理，选用基片尺寸为ф70mm×10mm、纯度为99.99％的碳纤维填充MoS₂靶，设置压强为0.6Pa或1.0Pa或1.2Pa，Ar和N₂流量比为10:15sccm，衬底温度为400℃，溅射时间为60 min；实验开始时，待机械泵-分子泵系统将本底真空度抽至4.0×10^-5Pa，调节好参数后，打开挡板，开始溅射镀膜；溅射完毕后，依次关闭挡板、射频电源、加热装置、气体阀门，待衬底的指示温度降至室温时，将样品取出；

（4）表面擦拭

利用丙酮溶液对LY12试样上下表面碳纤维填充MoS₂涂层进行表面擦拭处理，去除表面沉积物即可；

所述的新型的耐辐照空间固体润滑剂涂层辐照源Co60放射γ射线，总的辐照剂量为10⁷rad，服役真空度为1×10^-5MPa，载荷为6N，速度为0.2 -2.4m/s，摩擦距离为1000m，对偶面材料为标准轴承钢球GCr15，尺寸为Φ10mm, 硬度为HRC66.6。

2.一种新型的耐辐照空间固体润滑剂涂层，固体润滑剂涂层成分为MoS₂颗粒，质量比为85-95份，大小为100-200目，碳纤维颗粒，质量比为5-15份，大小为100-200目，涂层结构均匀、连续、平均厚度为20µm；

所述的新型的耐辐照空间固体润滑剂涂层的制备方法包括试样准备、抛光处理、MoS₂和碳纤维颗粒筛选、沉积涂层、表面擦拭；

具体过程如下：

（1）抛光处理

利用抛光机对LY12试样上下表面进行抛光处理，试样尺寸为ф70mm×10mm，抛光时间2-3min，以试样表面光亮，但不出现氧化现象为宜；

（2）MoS₂和碳纤维颗粒筛选

利用粉碎机或人工将MoS₂颗粒和碳纤维颗粒进行粉碎处理，大小为150目；

（3）沉积涂层

利用磁控溅射仪在LY12试样上下表面进行溅射沉积涂层处理，选用基片尺寸为ф70mm×10mm、纯度为99.99％的碳纤维填充MoS₂靶，设置压强为0.6Pa或1.0Pa或1.2Pa，Ar和N₂流量比为10:15sccm，衬底温度为400℃，溅射时间为60 min；实验开始时，待机械泵-分子泵系统将本底真空度抽至4.0×10^-5Pa，调节好参数后，打开挡板，开始溅射镀膜；溅射完毕后，依次关闭挡板、射频电源、加热装置、气体阀门，待衬底的指示温度降至室温时，将样品取出；

（4）表面擦拭

利用丙酮溶液对LY12试样上下表面碳纤维填充MoS₂涂层进行表面擦拭处理，去除表面沉积物即可；

所述的新型的耐辐照空间固体润滑剂涂层辐照源Co60放射γ射线，总的辐照剂量为10⁷rad，服役真空度为1×10^-5MPa，载荷为4N-12N，速度为0.8m/s，摩擦距离为1000m，对偶面材料为标准轴承钢球GCr15，尺寸为Φ10mm, 硬度为HRC66.6。