[发明专利]玻璃母材的制造装置及制造方法有效
申请号: | 201811276091.6 | 申请日: | 2018-10-30 |
公开(公告)号: | CN109721236B | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 长谷川慎治;铃木智哉 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018;G01L11/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 制造 装置 方法 | ||
本发明提供一种在制造玻璃母材时通过压力计进行了反应容器内或者排气管内的压力测定的情况下,能够抑制压力计的腐蚀、连接有压力计的配管的堵塞的玻璃母材的制造装置及制造方法。在玻璃母材(10)的制造装置(1)中,在用于将反应容器(2)内的气体排出的排气管(3)具有用于对排气管(3)内的压力进行测定的压力计(31),压力计(31)通过配管(32)而与排气管(3)连接,配管(32)在压力计(31)和排气管(3)之间连接有非腐蚀性气体供给部(34),非腐蚀性气体供给部(34)构成为从压力计(31)侧朝向排气管(3)侧,使非腐蚀性气体流向配管(32)的内部。
技术领域
本发明涉及玻璃母材的制造装置及制造方法。
背景技术
在专利文献1中,在现有技术的说明中,记载有通过精密微压差计对反应容器内的压力和容器外的压力的压差进行检测的结构。
在专利文献2中,记载有通过压力计对排气管内的压力进行测定的结构。
专利文献1:日本特开平9-40439号公报
专利文献2:国际公开第2002/102729号小册子
在制造玻璃母材时通过压力计进行了反应容器内或者排气管内的压力测定的情况下,存在在反应容器内产生的腐蚀性气体腐蚀压力计的担忧。另外,有时例如没有沉积于玻璃母材的玻璃微粒悬浮在反应容器内或者排气管内。因此,存在该玻璃微粒在设置有压力计的配管内沉积而将配管堵塞,无法准确地对反应容器内或者排气管内的压力进行测定的担忧。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种玻璃母材的制造装置及制造方法,其在制造玻璃母材时通过压力计进行了反应容器内或者排气管内的压力测定的情况下,能够抑制压力计的腐蚀、连接有压力计的配管的堵塞。
本发明的一个方式所涉及的玻璃母材的制造装置,其在用于将反应容器内的气体排出的排气管具有用于对所述排气管内的压力进行测定的压力计,
在该玻璃母材的制造装置中,
所述压力计通过配管而与所述排气管连接,
所述配管在所述压力计和所述排气管之间连接有非腐蚀性气体供给部,
所述非腐蚀性气体供给部构成为,
从所述压力计侧朝向所述排气管侧,使非腐蚀性气体流向所述配管的内部。
本发明的另一个方式所涉及的玻璃母材的制造装置,其具有用于对反应容器内的压力进行测定的压力计,
在该玻璃母材的制造装置中,
所述压力计通过配管而与所述反应容器连接,
所述配管在所述压力计和所述反应容器之间连接有非腐蚀性气体供给部,
所述非腐蚀性气体供给部构成为,
从所述压力计侧朝向所述反应容器侧,使非腐蚀性气体流向所述配管的内部。
本发明的一个方式所涉及的玻璃母材的制造方法,其通过在用于将反应容器内的气体排出的排气管设置的压力计,对所述排气管内的压力进行测定,
在该玻璃母材的制造方法中,
所述压力计通过配管而与所述排气管连接,
在从所述压力计侧朝向所述排气管侧,在所述配管的内部流动非腐蚀性气体的状态下进行压力测定。
本发明的另一个方式所涉及的玻璃母材的制造方法,其通过在反应容器设置的压力计,对所述反应容器内的压力进行测定,
在该玻璃母材的制造方法中,
所述压力计通过配管而与所述反应容器连接,
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