[发明专利]一种光电传感器装置及真空镀膜设备

说明书

本发明公开了一种光电传感器装置，包括：筒体、视窗件和光电传感器，所述光电传感器设置于所述视窗件背离所述筒体的一侧表面上。因此筒体与真空镀膜设备相连接时，镀膜物质只能穿过筒体内部的通道才能到达视窗件处，绝大部分的镀膜物质会被筒体的内壁吸附，大大地减少镀膜物质积聚于视窗件处，有效延长了光电传感器检测使用时间。本发明还提供了一种真空镀膜设备，包括一真空腔体，所述真空腔体上配置上述的光电传感器装置，所述筒体远离所述光电传感器的一端与所述真空腔体相连接且与该真空腔体的内部相连通。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，特别是一种光电传感器装置和一使用该光电传感器装置的真空镀膜设备。

背景技术

众所周知，真空镀膜设备被广泛应用于现代化工业生产，由于真空设备内部环境的特殊性(例如高温、高洁净度要求、物质低放气率要求等)，检测元件多采用光电传感器。

光电传感器将可见光线及红外线等通过发射器进行发射，并通过接收器检测由检测物体反射的光或被遮挡的光量变化，从而获得检测信号。

如图1所述，传统的真空镀膜设备包括一真空腔体10’，所述真空腔体10’相对的两侧壁上开设有供光线穿过的视窗件20’，其中一块视窗件20’背离所述真空腔体10’的一侧表面上设置有电光传感器 30’，由于真空腔体10’中的镀膜物质在真空腔体10’内以原子、分子或者离子状态进行运动，碰撞到检测光路的视窗件20’时，会有一定概率被吸附到视窗件20’上，长时间后会影响视窗件20’的透光量，从而影响光电传感器30’的检测效果和缩短了光电传感器30’的检测使用时间。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种结构简单，同时可以延长其检测时间的光电传感器装置，还提供了一种可以长时间进行光电检测且检测准确可靠的真空镀膜设备。

本发明为解决其技术问题而采用的技术方案是：

一种光电传感器装置，包括：

筒体，所述筒体的内部开设有一贯穿整个筒体的通道；

视窗件，所述视窗件设置于所述筒体一端的开口处；

光电传感器，所述光电传感器设置于所述视窗件背离所述筒体的一侧表面上；所述筒体远离所述光电传感器的一端可与真空镀膜设备相连接。

作为上述技术方案的改进，所述筒体邻近所述视窗件的一端处还设置有用于将所述视窗件锁紧于该筒体上的第一锁紧装置。

作为上述技术方案的进一步改进，，所述第一锁紧装置包括两块能够将所述视窗件压紧于所述筒体一端的端部上的第一压紧块。

进一步，所述视窗件与所述筒体之间设置有用于密封该视窗件与所述筒体之间的间隙的第一密封圈。

再进一步，所述筒体的一端处设置用于放置所述第一密封圈的第一凹槽。

在本发明中，所述筒体远离所述光电传感器的一端设置有用于将筒体锁紧于真空镀膜设备上的第二锁紧装置。

其中，所述第二锁紧装置包括两块能够将所述筒体压紧于真空镀膜设备上的第二压紧块；所述筒体邻近所述第二压紧块的一端上设置有与所述第二压紧块配合使用的凸缘部。

优选地，所述筒体远离所述光电传感器的一端设置有用于密封该筒体与真空镀膜设备之间的间隙的第二密封圈。

在本发明中，所述筒体为一直筒体。

一种真空镀膜设备，包括一真空腔体，所述真空腔体上配置上述的光电传感器装置，所述筒体远离所述光电传感器的一端与所述真空腔体相连接且与该真空腔体的内部相连通。