[发明专利]一种多通道链式湿法设备

权利要求书

1.一种多通道链式湿法设备，包括：外壳、安装在所述外壳内部的传动装置和主槽组，所述外壳的左侧设有上料部、右侧设有下料部，所述传动装置将硅片由上料部向下料部运送，所述主槽组包括由上料部向下料部依次排列的若干个主槽；

其特征在于，所述主槽组的正上方设有抽风系统，所述抽风系统包括：覆盖所述主槽组形成抽风腔的盖板组、连通所述抽风腔和所述外壳外部的抽风通道组；

所述盖板组包括：条形共用板、前盖板组和后盖板组；

所述抽风通道组包含由上料部向下料部依次排列连接在所述条形共用板上的若干个抽风通道；

所述前盖板组包括由上料部向下料部依次排列的若干个前盖板，所述前盖板的一端转动连接在所述条形共用板的前侧、另一端搭在所述主槽的前侧边缘上；所述后盖板组包括由上料部向下料部依次排列的若干个后盖板，所述后盖板的一端转动连接在所述条形共用板的后侧、另一端搭在所述主槽的后侧边缘上；每个所述主槽配置有一个所述前盖板和一个所述后盖板；

所述前盖板和后盖板均通过可拆卸合页转动安装在所述条形共用板上；

每个所述前盖板的顶面均设有前挂环，所述外壳的内部设有与所述前挂环匹配挂接的前吊钩，所述前挂环挂在所述前吊钩上时，所述前盖板保持打开露出所述主槽的状态；每个所述后盖板的顶面均设有后挂环，所述外壳的内部设有与所述后挂环匹配挂接的后吊钩，所述后挂环挂在所述后吊钩上时，所述后盖板保持打开露出所述主槽的状态。

2.如权利要求1所述的多通道链式湿法设备，其特征在于，所述主槽底部的前侧设有前支撑块，所述主槽的底部后侧设有后支撑块，所述外壳中设有机架，所述机架的顶面设有用于支撑所述主槽组的安装板；

所述安装板上设有位于前支撑块和后支撑块之间的调节结构，所述调节结构包括：固定在所述安装板顶面前侧的前调节座、与所述前调节座螺纹连接的前调节件、固定在所述安装板顶面后侧的后调节座、与所述后调节座螺纹连接的后调节件，所述前调节件的一端可转动至与所述前支撑块抵接，所述后调节件的一端可旋转至与所述后支撑块抵接。

3.如权利要求1所述的多通道链式湿法设备，其特征在于，所述外壳的内部还设有副槽组，所述副槽组包括由上料部向下料部依次排列的若干个副槽，每个所述主槽的正下方均配置有一个所述副槽。

4.如权利要求1所述的多通道链式湿法设备，其特征在于，所述外壳的内部还设有位于所述主槽组正上方的补液系统，所述补液系统包括由上料部至下料部依次排列的若干个补液装置，每个所述主槽均配置有一个所述补液装置。

5.如权利要求4所述的多通道链式湿法设备，其特征在于，所述外壳内部的顶角处还设有分隔盖，所述分隔盖与所述外壳之间的空腔形成集成区，所述补液系统安装在所述集成区内，所述集成区内还设有电气模块，所述电气模块和所述补液装置通过隔板隔开。

6.如权利要求1所述的多通道链式湿法设备，其特征在于，所述外壳的后侧板与所述主槽之间设有间距形成布管腔，所述布管腔中设有竖直安装的若干个通道管。

7.如权利要求1所述的多通道链式湿法设备，其特征在于，所述外壳的前侧板上设有由上料部向下料部依次排列的若干个前观察维修窗，所述外壳的后侧板上设有由上料部向下料部依次排列的若干个后观察维修窗，每个所述主槽均配置有一个所述前观察维修窗和一个所述后观察维修窗。