[发明专利]图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法

说明书

公开了图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法。提供了一种图像生成方法，其生成目标物体的表面的图像，包括：使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第一图像捕获，所述周期性结构体包括以预定周期P交替的透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域，使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第二图像捕获，和使用第一捕获图像和第二捕获图像来生成表面图像，其中第一和第二位置在周期性结构体的周期性方向上彼此不同。

技术领域

本公开涉及图像生成方法或图像生成装置，其用于获取具有表面(该表面具有光泽度)的待检查物体(目标物体)的图像，并且用于生成用于光学地评估目标物体的表面图像。

背景技术

作为用于检测工件(该工件是具有光泽度的目标物体)的表面上存在的缺陷的技术，已知使用发射周期性条纹图案的光的光源照明工件并且用照相机捕获由工件反射的光的技术(日本专利申请特开No.2004-198263)。在日本专利申请特开No.2004-198263中讨论的检查方法用其亮度(luminance)周期性变化的光照射工件。然后，该检查方法计算反射光的捕获图像的变化亮度的幅度、相位和平均值。此外，该检查方法在移动工件的同时计算多个位置处的幅度、相位和平均值，从而检测整个工件上的缺陷。

发明内容

根据实施例，用于生成目标物体的表面的表面图像的图像生成方法，包括：作为第一图像捕获，使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面，所述周期性结构体包括预定周期P交替布置的透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域；作为第二图像捕获，使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过所述周期性结构体捕获目标物体的表面；和使用第一图像和第二图像生成表面图像，其中第一位置和第二位置在周期性结构体的周期性方向上彼此不同。

根据以下参考附图对示例性实施例的描述，其它特征将变得清楚。

附图说明

图1是示出了装置的实施例的示例的示意图。

图2是示出了照明单元的图。

图3是示出了根据示例性实施例的照明单元的截面图。

图4是示出了用于检查工件表面上的缺陷的检查方法的流程图。

具体实施方式

在日本专利申请特开No.2004-198263中讨论的检查方法中，在用于将条纹图案投影到工件上的光源中使用液晶显示器(LCD)和线图案化膜。该线图案化膜包括不透光的部分。因此，该线图案化膜用作具有不透光的线形光阻挡部分的掩模。如果从受掩模影响的图像计算幅度、相位和平均值，则生成具有条纹强度分布的噪声(下文中称为“条纹噪声”)。因此，不可能以高精度检测工件的光泽表面上的各种缺陷。

本公开涉及图像生成方法和图像生成装置，其用于生成用于高精度地检测具有光泽度的工件表面上的缺陷的表面图像。

下面将参考附图描述示例性实施例。在附图中，相同的构件或部件由相同的附图标记表示，并且省略或简化对相同构件或部件的冗余描述。虽然作为示例以下示例性实施例被描述为光学评估装置(用于执行缺陷确定方法的装置或缺陷确定装置)，但是示例性实施例也可以应用于用于生成用于缺陷确定的图像的图像生成方法(或装置)。换句话说，在示例性实施例中，并不总是需要执行评估(即，确定缺陷的存在)。示例性实施例可以仅需要被应用于用于生成用于光学评估的表面图像(用于便于评估缺陷的存在或不存在的图像)的图像生成方法(图像生成装置)。