[发明专利]碲锌镉衬底表面加工方法、装置及组件有效

专利信息
申请号: 201811282244.8 申请日: 2018-10-29
公开(公告)号: CN109524504B 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 侯晓敏;刘江高;张瑛侠;徐强强;吴卿;孙浩 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心 11010 代理人: 齐洁茹
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 碲锌镉 衬底 表面 加工 方法 装置 组件
【权利要求书】:

1.一种碲锌镉衬底表面加工方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:

制作陪片;

将所述陪片环绕碲锌镉衬底的边缘与碲锌镉衬底进行粘结;

将粘结有陪片的碲锌镉衬底表面进行抛光处理;

所述制作陪片包括:

获取与所述碲锌镉衬底成分相同的碲锌镉材料作为陪片材料;

依据碲锌镉衬底的尺寸计算陪片的尺寸,并依据计算获得的陪片尺寸对陪片材料进行划切获得陪片。

2.如权利要求1所述的碲锌镉衬底表面加工方法,其特征在于,所述据碲锌镉衬底的尺寸计算陪片的尺寸,包括:

根据需要设定陪片的宽度,测量碲锌镉衬底的各边长,将设定的陪片宽度与碲锌镉衬底的各边的边长分别求和获得与碲锌镉各边对应的陪片长度,即:陪片长度=陪片宽度+与陪片对应的碲锌镉衬底的边长。

3.如权利要求2所述的碲锌镉衬底表面加工方法,其特征在于,所述陪片的宽度范围为4~10mm。

4.如权利要求1所述的碲锌镉衬底表面加工方法,其特征在于,所述将所述陪片环绕碲锌镉衬底的边缘与碲锌镉衬底进行粘结,包括:

将各陪片与碲锌镉衬底的各边一一对应并置于同一水平面;

将碲锌镉和相应的陪片对接并用蜡进行粘结。

5.一种碲锌镉衬底表面的加工装置,其特征在于,包括:

制作模块,用于制作陪片;

粘结模块,用于将所述陪片环绕碲锌镉衬底的边缘与碲锌镉衬底进行粘结;

抛光模块,用于将粘结有陪片的碲锌镉衬底表面进行抛光处理;

所述制作模块,具体用于:

获取与所述碲锌镉衬底成分相同的碲锌镉材料作为陪片材料;

依据碲锌镉衬底的尺寸计算陪片的尺寸,并依据计算获得的陪片尺寸对陪片材料进行划切获得陪片。

6.如权利要求5所述的碲锌镉衬底表面的加工装置,其特征在于,所述制作模块,具体用于:

根据需要设定陪片的宽度,测量碲锌镉衬底的各个边长,将设定的陪片宽度与碲锌镉衬底的各边的边长分别求和获得与碲锌镉各个边对应的陪片的陪片长度,即:陪片长度=陪片宽度+与陪片对应的碲锌镉衬底的边长。

7.如权利要求5所述的碲锌镉衬底表面的加工装置,其特征在于,所述粘结模块,具体用于:

将各陪片与碲锌镉衬底的各边一一对应并置于同一水平面;

将碲锌镉和陪片对接并用蜡进行粘结。

8.一种碲镉汞红外焦平面探测器组件,其特征在于,包括:采用权利要求1~4中任一项所述的碲锌镉衬底表面加工方法制得的碲锌镉衬底。

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