[发明专利]一种漏水检测设备及具有该漏水检测设备的曝光机

说明书

本发明提供一种漏水检测设备及具有该漏水检测设备的曝光机，漏水检测设备用于对一装置进行漏水检测，漏水检测设备包括检测部和储液部。检测部包括漏液检测器，其与装置连接，当装置内的液体泄露时，漏液检测器能够被触发，并发出漏水信号。储液部与装置连接，能够容纳自装置泄露的液体。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种具有漏水检测设备的曝光机。

背景技术

曝光机是半导体制造工艺中所使用的重要设备。如图1所示，曝光机通常包括曝光单元110、防震台120及电控柜130。曝光单元110支撑于防震台120上，电控柜130设置于防震台120的下方。曝光过程中，曝光单元110中的水可能会发生泄露，漏出的水会沿着防震台向下滴落到电控柜130上，从而造成设备短路、损毁，导致严重经济损失。并且，电控柜130的重新恢复时间较长(约花费十几小时)，若购入新机，则订购周期较长(至少1周)，且订购费高昂(至少上百万人民币)。可见，曝光机漏水将给整个制造设备带来严重的经济及时间损失。

因此，如何降低曝光机漏水带来的损失，实为半导体制造领域亟待解决的问题。

发明内容

基于上述问题，本发明提供了一种漏水检测设备及具有该漏水检测设备的曝光机，降低曝光机漏水带来的损失。

为达成上述目的，本发明提供一种漏水检测设备，用于对一装置进行漏水检测，漏水检测设备包括检测部和储液部。

检测部包括漏液检测器，其与装置连接，当装置内的液体泄露时，漏液检测器能够被触发，并发出漏水信号。储液部与装置连接，能够容纳自装置泄露的液体。

根据一实施例，漏液检测器包括带状传感器和一检测器，检测器能够对传感器提供电压以及对漏水信号进行收集放大处理。

根据一实施例，带状传感器围绕设置于至少部分装置的外周。

根据一实施例，带状传感器连续的围绕装置的整个外周。

根据一实施例，带状传感器与装置的外周紧密贴合。

根据一实施例，储液部包括蓄水槽，蓄水槽位于漏液检测器的下方，用于接收由装置泄露的液体。

根据一实施例，蓄水槽设置于至少部分装置的外周。

根据一实施例，蓄水槽连续的围绕装置的整个外周。

根据一实施例，蓄水槽的一侧与装置的外周紧密贴合。

根据一实施例，储液部还包括储水桶，用于接收来自蓄水槽的液体。

根据一实施例，储液部还包括导液管，导液管的两端分别与蓄水槽和储水桶连通，从而将蓄水槽内的液体导入储水桶内。

根据一实施例，蓄水槽的底部具有开孔，导液管的一端与开孔连通，储水桶位于蓄水槽的下方。

根据一实施例，检测部还包括警报器，其能够接收来自漏液检测器发出的漏水信号，并发出警报。

本发明另一方面，提供一种曝光机，其包括曝光单元、防震台、电控柜及如上述的漏水检测设备，曝光机支撑于防震台上，电控柜设置于防震台的下方，漏液检测器和储液部与曝光单元或防震台连接，当曝光单元内的液体泄露时，漏液检测器能够被触发，并发出漏水信号。

根据一实施例，漏液检测器围绕设置于至少部分曝光单元或防震台的外周，储液部围绕设置于至少部分曝光单元或防震台的外周。

本发明相较于现有技术的有益效果在于：发明的漏水检测设备能够及时检测到漏水，并收集漏水，同时实现了检测和阻漏，从而有效的保护曝光机的部件不会损坏，降低财产损失和设备停机时间。

附图说明

图1为现有的曝光机的示意图。