[发明专利]一种碳化硅晶体快速定向方法

权利要求书

1.一种碳化硅晶体快速定向方法，其特征在于，所述碳化硅晶体快速定向方法利用切割前定向治具分别通过控制上平台和下平台两个平台的垂直和水平方向的运动，对碳化硅晶棒垂直和水平方向进行定装，实现对碳化硅晶棒水平和垂直方向角度的测量；所述碳化硅晶体快速定向方法，包括以下步骤：

S10，将碳化硅晶棒粘在切割前定向治具的上平台上，放置5min～8min，待胶水固化后，将粘结好的碳化硅晶棒的切割前定向治具紧固在X-Ray定向仪上；

S20，调节上平台上的调整螺钉，使上平台做垂直方向的运动，在X-Ray定向仪的仪表上寻找指针的最高峰，此时的角度为碳化硅晶棒垂直方向的角度；

S30，确定好碳化硅晶棒垂直方向的角度之后，将切割前定向治具从X-Ray定向仪上拆下来，通过螺钉固定在线切机的载台上；

S40，将固定好的线切机的载台和切割前定向治具，移至X-Ray定向仪的卡槽内，进行碳化硅晶棒水平方向的定向，将X-Ray定向仪显示器上显示的角度调整为碳化硅晶棒的角度；

S50，将定向好的切割前定向治具和线切机的载台从X-Ray定向仪上的卡槽取下来，放到线切机上进行切割。

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶体快速定向方法，其特征在于，S10中，所述粘结好的碳化硅晶棒的切割前定向治具通过螺钉和切割前定向治具的螺纹孔紧固在X-Ray定向仪上。

3.根据权利要求1所述的碳化硅晶体快速定向方法，其特征在于，S20中，所述上平台利用调整螺钉进行垂直方向的运动过程中采用平台中间有轴承作为滚动支撑。

4.根据权利要求1所述的碳化硅晶体快速定向方法，其特征在于，S40中，所述水平方向的定向过程中利用蜗轮、蜗杆和手轮控制下平台进行水平方向的转动。

5.根据权利要求1所述的碳化硅晶体快速定向方法，其特征在于，S40中，所述碳化硅晶棒水平方向的定向的具体操作步骤为：

A，利用手轮带动蜗轮和蜗杆，带动下平台进行水平方向上的转动；

B，当下平台进行水平方向转动时，观察X-Ray定向仪的仪表上的指针，指针指在波峰时，记录下此时指针所指的位置；

C，根据碳化硅晶棒切割前需要偏转的角度，将现有X-Ray定向仪显示的角度上加上所要偏转的角度，然后再次利用手轮带动蜗轮和蜗杆，带动下平台进行水平方向上的转动，找到此时在X-Ray定向仪的仪表上指针指在B中指针所指的位置，完成水平方向定向。

6.根据权利要求5所述的碳化硅晶体快速定向方法，其特征在于，A中，所述手轮外周设置有一周精度为0.001mm～0.1mm的刻度线。

7.根据权利要求5所述的碳化硅晶体快速定向方法，其特征在于，C中，所述碳化硅晶棒切割前需要偏转的角度为0.2°～10°。

8.根据权利要求1所述的碳化硅晶体快速定向方法，其特征在于，所述切割前定向治具还可以用来定向蓝宝石和单晶硅。