[发明专利]一种多波段线性激光防护薄膜窗口有效
申请号: | 201811283491.X | 申请日: | 2018-10-31 |
公开(公告)号: | CN109270617B | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 姜玉刚;刘华松;陈丹;王利栓;季一勤 | 申请(专利权)人: | 天津津航技术物理研究所 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28 |
代理公司: | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人: | 刘二格 |
地址: | 300308 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 波段 线性 激光 防护 薄膜 窗口 | ||
1.一种多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,包括窗口基底和形成在窗口基底两侧表面上的薄膜,其中,基底一侧表面的薄膜为四波段分光薄膜A,其膜系结构为:Sub/(L2H L)^m(0.8L 1.6H 0.8L)^m/Air,其中8m24;基底另一侧表面的薄膜为四波段分光薄膜B,其膜系结构为:Sub/(2L 4H 2L)^n/Air,其中8n24;高折射率薄膜材料H为Ta2O5,低折射率薄膜材料L为SiO2。
2.如权利要求1所述的多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,根据反射带的要求,将Ta2O5和SiO2的光学常数导入到薄膜设计软件中,根据m和n值不同,计算透过率曲线,然后根据预设指标要求选择合适的m和n值。
3.如权利要求1所述的多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,所述窗口基底选用k9玻璃。
4.如权利要求2所述的多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,为实现1.064μm、1.315μm波长的反射和0.55~0.8μm、1.55μm波段的增透,四波段分光薄膜A的膜系结构为Sub/(L 2H L)^16(0.8L 1.6H 0.8L)^16/Air。
5.如权利要求4所述的多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,所述四波段分光薄膜A的膜系结构的参考波长为0.666μm。
6.如权利要求5所述的多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,所述四波段分光薄膜A中,优化膜系的前6层和后7层后,最终膜系结构为:Sub/1.89L 1.92H 1.98L 2.05H2.03L 2.01H(2L 2H)^10 2.01L 2.00H 1.99L 2.00H 2.00L 1.97H 1.95L 1.93H 1.86L1.76H 1.70L 1.63H (1.6L 1.6H)^10 1.57L 1.48H 1.55L 1.45H 1.58L 1.25H 0.78L/Air,物理厚度为11.6μm。
7.如权利要求6所述的多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,为实现0.532μm、2.7μm波长的反射和0.55~0.8μm、1.55μm波段的增透,四波段分光薄膜B的膜系结构为Sub/(2L 4H 2L)^14/Air。
8.如权利要求7所述的多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,所述四波段分光薄膜B的参考波长为0.662μm。
9.如权利要求8所述的多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,所述四波段分光薄膜B中,优化膜系的前9层和后10层后,最终膜系结构为:Sub/1.95L 3.99H 3.93L 4.01H3.98L 3.95H 4.01L 4.00H 3.97L(4H 4L)^6 4.04H 3.98L 3.98H 4.03L 3.97H 3.96L4.02H 2.97L/Air。
10.如权利要求9所述的多波段线性激光防护薄膜窗口,其特征在于,所述四波段分光薄膜B的物理厚度为11.2μm。
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