[发明专利]反应槽设备的过滤器清洗装置及其清洗方法、反应槽设备

权利要求书

1.一种反应槽设备的过滤器清洗装置，其特征在于，包括：

清洗槽，用于容置清洗液体；

清洗槽进液管路，用于向所述清洗槽输入所述清洗液体；

清洗槽出液管路，用于从所述清洗槽输出所述清洗液体；

备用过滤器，所述备用过滤器具有入口和出口；

第一三通阀，所述第一三通阀具有一个入口与两个出口，所述第一三通阀的入口与所述清洗槽出液管路连通，所述第一三通阀的第一出口与所述备用过滤器的入口连通；

第二三通阀，所述第二三通阀具有一个入口与两个出口，所述第二三通阀的第一出口与所述备用过滤器的入口连通；

第三三通阀，所述第三三通阀具有两个入口与一个出口，所述第三三通阀的第一入口与所述备用过滤器的出口连通；

第四三通阀，所述第四三通阀具有两个入口与一个出口，所述第四三通阀的第一入口与所述备用过滤器的出口连通，所述第四三通阀的出口与所述清洗槽进液管路连通。

2.根据权利要求1所述的反应槽设备的过滤器清洗装置，其特征在于，所述反应槽设备包括反应槽、原始过滤器、反应槽进液管路以及反应槽出液管路；

其中，所述第一三通阀的第二出口以及所述第二三通阀的第二出口用于与所述原始过滤器的入口连通，所述第二三通阀的入口用于与所述反应槽出液管路连通，所述第三三通阀的第二入口以及所述第四三通阀的第二入口用于与所述原始过滤器的出口连通，所述第三三通阀的出口用于与所述反应槽进液管路连通。

3.根据权利要求1所述的反应槽设备的过滤器清洗装置，其特征在于，所述清洗槽内的清洗液体为氢氟酸溶液。

4.根据权利要求3所述的反应槽设备的过滤器清洗装置，其特征在于，所述氢氟酸溶液中氢氟酸与水的质量比为1：10至1：1000。

5.根据权利要求1所述的反应槽设备的过滤器清洗装置，其特征在于，还包括清洗槽泵，所述清洗槽泵安装在所述清洗槽出液管路上。

6.根据权利要求1所述的反应槽设备的过滤器清洗装置，其特征在于，还包括清洗槽输液管路以及清洗槽废弃管路；

其中，所述清洗槽输液管路在开启时向所述清洗槽内输入清洗液体；

所述清洗槽废弃管路在开启时排出所述清洗槽内的清洗后液体。

7.一种基于权利要求1至6任一项所述的反应槽设备的过滤器清洗装置的备用过滤器清洗方法，其特征在于，包括：

提供反应槽设备以及权利要求1至6任一项所述过滤器清洗装置，所述反应槽设备包括：

反应槽，用于容置反应液体；

反应槽进液管路，用于向所述清洗槽输入所述反应液体；

反应槽出液管路，用于从所述清洗槽输出所述反应液体；

原始过滤器，所述原始过滤器具有入口和出口；

将所述第一三通阀的第二出口与所述原始过滤器的入口连通，将所述第二三通阀的入口与所述反应槽出液管路连通，将所述第二三通阀的第二出口与所述原始过滤器的入口连通，将所述第三三通阀的第二入口与所述原始过滤器的出口连通，将所述第四三通阀的第二入口与所述原始过滤器的出口连通，将所述第三三通阀的出口与所述反应槽进液管路连通；

控制所述第一三通阀的入口与第一出口导通，且控制所述第四三通阀的第一入口以及出口导通，控制所述第二三通阀的入口与第二出口导通，且控制所述第三三通阀的第二入口与出口导通；

其中，所述反应槽中的反应液体流经所述第二三通阀、所述原始过滤器以及所述第三三通阀后回到所述反应槽中，所述清洗槽中的清洗液体流经所述第一三通阀、所述备用过滤器以及所述第四三通阀后回到所述清洗槽中。