[发明专利]集成电路制程异常的定位方法和装置

说明书

本发明提供了一种集成电路制程异常的定位方法和装置，包括：输入数据类型以及产品预设的编号信息；显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的制程量测信息，并从所述若干制程量测信息中选择目标制程量测信息，所述目标制程量测信息与输入的所述数据类型相符合；显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。本发明实施例的技术方案通过系统收集量测结果，利用图表将监测结果进行纵向比较，并与目标值进行比较，实现监测集成电路制程的健康程度。

技术领域

本发明涉及测试机技术领域，具体而言，涉及一种集成电路制程异常的定位方法及一种集成电路制程异常的定位装置。

背景技术

目前，随着集成电路技术节点的不断减小以及互连布线密度急剧增加,通过先进量测技术对其实现过程控制尤为重要，量测结果的变化反映制程的健康状况，传统量测结果分析手段采用人工方式，效率低，不能应对大量量测结果的分析，并且不易操作。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种集成电路制程异常的定位方法以及一种测试机控制装置，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的制程健康状况效率低、无法进行大量量测结果分析以及操作难度大等一个或者多个问题。

本发明实施例的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本发明的实践而习得。

根据本发明实施例的第一方面，提供一种集成电路制程异常的定位方法，包括：

输入数据类型以及产品预设的编号信息；

显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的若干制程量测信息，并从若干所述制程量测信息中选择目标制程量测信息，所述目标制程量测信息与输入的所述数据类型相符合；

显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。

在本发明的一个实施例中，上述数据类型包括：线上量测数据，缺陷测试数据，电性测试数据，晶圆测试数据以及封装测试数据。

在本发明的一个实施例中，上述方法还包括：从制程信息存储系统中获取所述制程量测信息。

在本发明的一个实施例中，上述显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的若干制程量测信息，并从若干所述制程量测信息中选择目标制程量测信息，包括：

根据输入的所述编号信息显示相关制程信息，所述制程信息包括：制程站点信息和制程量测信息；

在选择所述制程站点信息时显示与所述制程站点相关的制程量测信息，从中选择需要查看的部分所述制程量测信息作为所述目标制程信息。

在本发明的一个实施例中，上述显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位，包括：

根据所选择的所述数据类型，将预设时间段内的各个量测数据输出；

将超出所述预设阈值范围的上限值的量测数据进行标记，和/或将低于所述预设阈值范围的下限值的量测数据进行标记。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种集成电路制程异常的定位装置，包括：

信息输入模块，用于输入数据类型以及产品预设的编号信息；