[发明专利]蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201811289906.4 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109055899A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 刘辉强;冯永山;钟纪奇;尹麒杰;毛埼帆 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 容置腔 隔板 容置空间 蒸镀 坩埚 埚体 蒸镀设备 可拆卸 蒸镀源 分隔 使用灵活性 方便调节 液体重心 开放端 偏移 预设 收容 震荡 | ||
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：
埚体，具有容置腔，所述容置腔具有开放端；
多个隔板，可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述埚体包括底壁和两端开放的筒状侧壁，所述底壁与所述筒状侧壁的一端连接以形成所述容置腔，多个所述隔板均与所述筒状侧壁和所述底壁接触。
3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述隔板均与所述筒状侧壁的内表面滑动连接。
4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述筒状侧壁的内表面设有多个滑槽，多个所述隔板一一对应地与多个所述滑槽滑动配合。
5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述筒状侧壁的内表面设有多个凸棱，多个所述滑槽一一对应地形成于多个所述凸棱。
6.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，每个所述隔板设有通道。
7.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚，其特征在于，相邻的所述隔板上的所述通道在预设方向上错开设置。
8.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述隔板靠近所述底壁的边缘具有缺口，所述通道由所述缺口和所述底壁围设而成。
9.一种蒸镀源装置，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的蒸镀坩埚。
10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求9所述的蒸镀源装置。
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