[发明专利]一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法在审
申请号: | 201811294930.7 | 申请日: | 2018-11-01 |
公开(公告)号: | CN109161862A | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 陆映东;张倍维;梁盈祥;莫斌;覃当凤 | 申请(专利权)人: | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人: | 韦微 |
地址: | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转靶材 油浴槽 托架 加热组件 解绑定 多块 隔板 放置凹槽 平面靶材 连接杆 靶材 栅格 隔板间隔 滑动安装 均匀安装 两根导轨 倾斜排列 倾斜设置 温度均匀 加热棒 上连杆 下连杆 绑定 导轨 底面 小孔 金属 | ||
1.一种平面和旋转靶材解绑定的装置,其特征在于:包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮,油浴槽的底面为倾斜设置,油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽,所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内,所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连接杆上的多个加热棒组成,加热组件安装在油浴槽内,所述平面靶材栅格托架包括多块其上开有小孔的隔板,多块隔板间隔一定距离倾斜排列,多块隔板的两侧均是通过上连杆和下连杆连接,所述旋转靶材托架是由两根导轨和滑动安装在导轨上的旋转靶材托构成。
2.根据权利要求1所述一种平面和旋转靶材解绑定的装置,其特征在于:所述油浴槽底面与水平面之间的夹角β为1-5度。
3.根据权利要求1或2所述一种平面和旋转靶材解绑定的装置,其特征在于:所述集铟篮是由长方形篮体和连接在长方形篮体上端的手把构成,所述长方形篮体放置在集铟篮放置凹槽内。
4.根据权利要求1或2所述一种平面和旋转靶材解绑定的装置,其特征在于:还包括用于控制加热组件的温控箱,温控箱设置在油浴槽的外侧面上。
5.一种平面和旋转靶材解绑定的方法,其特征在于:采用的装置是权利要求1-4任一项所述的平面和旋转靶材解绑定的装置,包括以下步骤:
⑴根据需要解绑的靶材类型选择需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架;
⑵有两种操作方式;方式一:先将需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架放入油浴槽中,再向油浴槽中加入油浴油;方式二:先向油浴槽中加入油浴油,再将需要使用的平面靶材栅格托架或旋转靶材托架放入油浴槽中;
⑶将油浴油加热到170℃~250℃;
⑷将用铟金属绑定的待解绑的平面或旋转靶材及背板一起放置到相应的托架上,待铟溶化后,即可将分离的靶材和背板分别取出;
⑸溶化的铟由于油浴槽底面倾斜而滚落入集铟篮中,将集铟篮取出,回收铟。
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