[发明专利]一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置

说明书

本发明公开了一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，包括装置本体，装置本体由磨边室和伸缩移动柱组成，磨边室设有进料口和出料口，磨边室内的传输辊驱动连接驱动电机，传输辊之间设有打磨电机，打磨电机的输出端通过联轴器连接打磨棒，打磨电机固定安装的滑块二螺纹连接螺纹杆三，滑块二下端面固定连接的滑动杆滑动连接固定杆二，固定杆二内的支撑弹簧两端面固定连接滑块一和固定杆二，固定杆二下端面安装的滚轮滚动连接磨边室底面，磨边室的内壁设有吸头并通过抽风机和回收管连接收集箱内底部，磨边室下端面固定安装伸缩移动柱。本发明的磨边装置定位准确不会对硅基板打磨时造成损坏，对打磨产生的碎屑进行收集，避免对操作者健康造成损害。

技术领域

本发明涉及非晶硅薄膜制造技术领域，具体是一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置。

背景技术

非晶硅是硅的同素异形体形式，能够以薄膜形式沉积在各种基板上，为各种电子应用提供某些独特的功能。非晶硅被用在大规模生产的微机电系统(MEMS)和纳米机电系统(NEMS)、太阳能电池、微晶硅和微非晶硅、甚至对于各种基板上的滚压工艺技术都是有用

的，而非晶硅薄膜是太阳能电池核心原材料之一，也称微晶硅，生产非晶硅薄膜时通常都是在成膜室对硅基板进行非晶硅成膜，对非晶硅成膜后的硅基板需要进行修正，方便后续加工，对硅基板进行修正时，通常是对硅基板的侧边进行磨边处理，但是现有的磨边装置在对硅基板进行磨边处理时，由于定位不准容易对硅基板打磨时造成损坏，且打磨时直接暴露在室内，打磨产生的粉尘碎屑中含有硅，工作人员长期吸入非晶硅，容易诱发职业病，对操作者的身体健康造成影响。

发明内容

1、要解决的问题

针对现有非晶硅薄膜生产时得到的成膜后的硅基板进行打磨时，磨边装置由于定位不准容易对硅基板打磨时造成损坏，且打磨时直接暴露在室内，打磨产生的粉尘碎屑中含有硅，被人体吸入影响健康问题，本发明的目的在于提供一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，包括装置本体，所述装置本体由磨边室和伸缩移动柱组成，所述磨边室左右端面分别设有进料口和出料口，所述进料口和出料口之间均匀设有传输辊，所述传输辊的两端固定安装驱动轴，所述驱动轴通过轴承转动连接磨边室内壁，且延伸出磨边室，驱动轴通过联轴器连接驱动电机，所述传输辊上固定安装齿轮，齿轮通过链条传动连接，所述传输辊之间设有打磨电机，所述打磨电机的输出端通过联轴器连接打磨棒，所述打磨电机固定安装在滑块二上，所述滑块二螺纹连接螺纹杆三，所述螺纹杆三通过轴承转动连接磨边室内壁，且延伸出磨边室，所述螺纹杆三固定连接把手四，所述滑块二下端面固定连接滑动杆，所述滑动杆固定连接滑块一，滑块一滑动连接中空的固定杆二，所述固定杆二内设有支撑弹簧，所述支撑弹簧两端面固定连接滑块一和固定杆二，所述固定杆二下端面安装滚轮，所述滚轮滚动连接磨边室底部上设有滑槽，磨边室的底面为倾斜设置，且设有卸渣口，所述磨边室的内壁上均匀铰接吸头，所述吸头通过抽风机和回收管连接收集箱内底部，所述收集箱内滑动连接抽拉收集抽屉，抽拉收集抽屉上固定安装推拉把手，所述收集箱内壁固定安装滤袋，收集箱设有连通到磨边室外部的泄气口，泄气口内固定安装过滤网，所述磨边室下端面固定安装伸缩移动柱，通过在磨边室经过打磨电机驱动打磨棒对硅基板进行打磨，将打磨产生的碎屑进行收集，避免非晶硅碎屑外扬被操作者吸入，对身体健康造成危害。

作为本发明进一步的方案：所述磨边室为长方体结构，且前后端面分别设有密封门，所述密封门通过合页连接磨边室，所述密封门上设有凹形把手，所述密封门为透明结构，透明结构的密封门方便贯穿磨边室内部情况。