[发明专利]一种光学检测系统

说明书

本申请公开了一种光学检测系统，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。通过上述方式，本申请能够提高缺陷检测的效率和准确性。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种光学检测系统。

背景技术

半导体行业中常用的圆片、基板等，在来料检查、工艺过程和最终出货时，都涉及到圆片或者基板等的正面和背面的宏观检测。

例如，如图1a和1b所示，图1a为现有宏观检测一实施方式的结构示意图，图1b为现有宏观检测另一实施方式的结构示意图。待检测样品10(例如，圆片、基板等)放置在基台12上，在光源14的照射下，使用宏观肉眼检测待检测样品10的正面100是否存在缺陷(如图1a所示)；再将待检测样品10翻转，使用宏观肉眼检测待检测样品10的背面102是否存在缺陷(如图1b所示)。

本申请的发明人在长期研究过程中发现，上述现有宏观检测存在效率低、准确性差的缺点，容易使缺陷产品流出。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种光学检测系统，能够提高缺陷检测的效率和准确性。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种光学检测系统，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。

其中，所述基台为镂空结构，所述镂空的边缘的所述第一面用于支撑所述待检测样品的非检测区域，位于所述待检测样品的非检测区域中央的检测区域从所述镂空处露出；所述第二检测组件的检测方向对着所述基台的所述第二面的所述镂空处。

其中，所述基台包括透明区域，所述透明区域的所述第一面用于支撑所述待检测样品的检测区域，所述检测区域从所述透明区域露出；所述第二检测组件的检测方向对着所述基台的所述第二面的所述透明区域。

其中，所述第一检测组件和所述第二检测组件轴线相同，且同时获得所述待检测样品的同一位置处对应的所述第一图像和所述第二图像。

其中，所述第一检测组件包括：第一光源，发光方向朝向所述基台的所述第一面；第一相机，镜头方向朝向所述基台的所述第一面，用于获得所述待检测样品的所述第一图像；所述第二检测组件包括：第二光源，发光方向朝向所述基台的所述第二面；第二相机，镜头方向朝向所述基台的所述第二面，用于获得所述待检测样品的所述第二图像；其中，所述第一相机和所述第二相机的轴线重合。

其中，所述第一光源包括同轴光源、环形光源中至少一种；所述第二光源包括同轴光源、环形光源中至少一种。

其中，所述光学检测系统还包括：控制器，分别连接所述第一光源、所述第一相机、所述第二光源、以及所述第二相机，用于发出控制指令到所述第一光源、所述第一相机、所述第二光源、以及所述第二相机，使所述第一光源、所述第二光源发光，使所述第一相机、所述第二相机在所述第一光源、所述第二光源都发光后同时拍摄以获得所述待检测样品第一表面的第一图像、第二表面的第二图像。