[发明专利]一种旋转靶材在线打磨装置及打磨方法

权利要求书

1.一种旋转靶材在线打磨装置，其特征在于，包括遮挡构件及打磨构件；

在打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件形成封闭空间用于包围旋转靶材；其中，所述打磨构件与所述旋转靶材相接触；

在非打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件远离所述旋转靶材。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材在线打磨装置，其特征在于，在打磨状态，所述遮挡构件形成的空间结构具有打磨空隙，所述打磨构件嵌入所述打磨空隙，从而形成封闭空间用于包围所述旋转靶材。

3.根据权利要求1所述的旋转靶材在线打磨装置，其特征在于，所述遮挡构件包括第一挡板和第二挡板；所述打磨构件包括打磨滚筒。

4.根据权利要求3所述的旋转靶材在线打磨装置，其特征在于，所述第一挡板和所述第二挡板分别设置在所述旋转靶材的两侧；所述第一挡板包括第一上端面、第一下端面和第一侧壁，所述第二挡板包括第二上端面、第二下端面和第二侧壁；

在打磨状态，所述第一挡板和所述第二挡板靠近所述旋转靶材，并且所述第一上端面和所述第二上端面闭合，包住所述旋转靶材的第一端部；所述第一下端面和所述第二下端面闭合，包住所述旋转靶材的第二端部；沿所述旋转靶材轴向方向，所述第一侧壁的第一工艺端边界和所述第二侧壁的第二工艺端边界闭合，所述第一侧壁的第一打磨端边界和所述第二侧壁的第二打磨端边界留有打磨空隙；

并且，在打磨状态，所述打磨滚筒靠近所述旋转靶材，与所述旋转靶材相接触，所述打磨滚筒嵌入所述打磨空隙，使得所述旋转靶材被所述第一挡板、所述第二挡板和所述打磨滚筒完全包裹。

5.根据权利要求4所述的旋转靶材在线打磨装置，其特征在于，所述第一侧壁和所述第二侧壁的横截面为圆弧形状，所述第一侧壁和所述第二侧壁的半径大于所述旋转靶材的半径；且所述第一侧壁和所述第二侧壁的半径与所述旋转靶材的半径之差为预设数值。

6.根据权利要求3所述的旋转靶材在线打磨装置，其特征在于，所述打磨滚筒的内部设置有转轴，所述转轴包括两个平行设置的第一套管和第二套管，所述第一套管套设有未使用的打磨介质；所述打磨滚筒具有缝隙，所述第一套管上的所述打磨介质的一端通过所述打磨滚筒的缝隙在所述打磨滚筒上围绕一圈后，再经过所述缝隙绕至所述第二套管上固定。

7.根据权利要求1所述的旋转靶材在线打磨装置，其特征在于，所述遮挡构件设置有废料管路，所述废料管路用于排出打磨过程中产生的粉尘。

8.根据权利要求1所述的旋转靶材在线打磨装置，其特征在于，所述装置还包括控制模块、第一驱动模块、第二驱动模块、第三驱动模块及除尘模块；

所述控制模块用于控制所述第一驱动模块驱动所述遮挡构件靠近及远离所述旋转靶材、控制所述第二驱动模块驱动所述打磨构件靠近及远离所述旋转靶材、控制所述第三驱动模块驱动所述打磨构件旋转实现打磨以及控制所述除尘模块抽取打磨过程中产生的粉尘至设置在所述遮挡构件的废料管路。

9.一种旋转靶材在线打磨方法，其特征在于，包括：

若控制模块接收到开始打磨指令，则控制第一驱动模块驱动遮挡构件靠近旋转靶材及控制第二驱动模块驱动打磨构件靠近所述旋转靶材，使得所述遮挡构件及所述打磨构件形成封闭空间包围旋转靶材；其中，所述打磨构件与所述旋转靶材相接触；

控制第三驱动模块驱动所述打磨构件旋转实现打磨；

若所述控制模块接收到停止打磨指令，则控制第一驱动模块驱动所述遮挡构件远离所述旋转靶材以及控制第二驱动模块驱动所述打磨构件远离所述旋转靶材。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在打磨过程中或根据所述控制模块接收到的排粉尘指令，所述控制模块控制除尘模块开启，抽取打磨过程中产生的粉尘至设置在所述遮挡构件的废料管路，并通过所述废料管路排出。