[发明专利]一种压力传感器在审
| 申请号： | 201811296933.4 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111122027A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 孙业超;尚海平;王英辉 | 申请（专利权）人： | 中科院微电子研究所昆山分所 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：
具有空腔的基板；
位于所述基板表面且跨越所述空腔的敏感膜片；
与所述敏感膜片相接触的至少两组压阻条组；其中，任一所述压阻条组包括四个压阻条，任一所述压阻条组中四个所述压阻条分为两个横向压阻和两个纵向压阻；
位于所述基板表面的引线电极；其中，所述引线电极与所述压阻条组相对应；
将所述压阻条与对应所述引线电极电连接的引线。
2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，任一所述压阻条组中相邻所述压阻条之间的距离均不大于15μm。
3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，至少两组所述压阻条组沿所述敏感膜片中心呈中心对称分布。
4.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，任一所述压阻条组中所述横向压阻呈直线型，两个所述横向压阻之间设置有两个所述纵向压阻，所述纵向压阻呈U型。
5.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述敏感膜片呈圆形。
6.根据权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，任一所述压阻条组均位于所述敏感膜片的边缘区域；其中，所述边缘区域为与所述敏感膜片边沿的距离不大于10μm的区域。
7.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述基板为碳化硅基板。
8.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述引线电极位于所述基板的边缘。
9.根据权利要求8所述的压力传感器，其特征在于，对应任一所述压阻条组的引线电极呈一直线排列。
10.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括四组所述压力条组。
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