[发明专利]一种配向膜脱膜剂组合物及脱膜工艺有效
申请号: | 201811298244.7 | 申请日: | 2018-11-02 |
公开(公告)号: | CN109439468B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 徐杨;邵勇;朱龙;陈林;承明忠;周勰;殷福华;赵文虎 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C11D7/04 | 分类号: | C11D7/04;C11D7/06;C11D7/16;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;G02F1/1337 |
代理公司: | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人: | 杜兴 |
地址: | 214400 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 膜脱膜剂 组合 工艺 | ||
本发明公开了一种配向膜脱膜剂组合物,主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水,碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。本发明配向膜脱膜剂组合物中引入了具有仲胺基团的吗啉和/或吗啉衍生物,吗啉分子结构中具有仲胺基团,因此其水溶液具有强碱性,可部分替代或者全部替代碱金属氢氧化物,降低脱膜剂组合物中的碱金属氢氧化物含量,不伤底层ITO及金属层;配向膜脱膜剂组合物中的水含量高,有助于提高配向膜脱膜过程中的的安全系数。本发明还公开了一种配向膜脱膜剂组合物的脱膜工艺。
技术领域
本发明涉及电子聚合物脱膜化学品技术领域,具体涉及一种配向膜脱膜剂组合物及脱膜工艺。
背景技术
配向膜又称液晶取向膜层,其材质为绝缘材料聚酰亚胺,起作用是为液晶分子提供一个有序排列的承载平台。PI膜是在CF或TFT基板上均匀的形成一层特定图案的膜层,经过摩擦的作用,使得这一层PI膜具有统一的取向和预倾角。CF或TFT基板生产过程中经常出现异常,通常需要将PI膜去除并重新镀膜的制程工艺,即PI-rework工艺。传统的PI-rework工艺使用干刻,利用He等离子体与O2等离子体轰击刻蚀PI膜,不仅成本昂贵,作业风险大,而且对设备要求也高。
改进的技术方案采用湿法脱膜,湿法脱膜的要求是去除基板表面的PI膜层,且不伤底层ITO层。如CN1693439A中所述的,采用含有机碱性化合物、一级醇类有机溶剂和具有醚基的二级和/或三级醇类的有机溶剂。上述有机溶剂具有较佳的铝耐腐蚀性,对于油分、指纹、树脂和微粒具有良好的去除能力。实施例中CN1693439A中碱的可选范围包括氢氧化钠、四丁基铵氢氧化物和四乙基铵氢氧化物,季铵盐作为脱膜剂组合物碱性组分的缺陷在于碱性虽强,但是N+结构四周为被-CH3包围,其空间位阻效应较大,而聚酰亚胺的结构自身空间位阻大,季铵盐碱性官能团攻击酰胺键的几率大大降低,影响分子反应活性,对于加热处理后的PI膜剥离效果较差。
因此,有必要对现有技术中的配向膜脱膜剂的组成进行改进。
发明内容
本发明的目的之一在于克服现有技术中存在的缺陷,提供一种配向膜脱膜剂组合物,将吗啉和/或具有仲胺的吗啉衍生物加入到组合物中作为碱性组分,利用吗啉水溶液的碱性、对含芳烃水解链段的溶解能力,使脱膜剂组合物对于配向膜具有良好的剥离性。
为实现上述目的,本发明的技术方案为:一种配向膜脱膜剂组合物,其特征在于,主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水,碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。
优选的技术方案为,按重量百分比计,配向膜脱膜剂组合物中主要组成包括2~20%的碱性组分、10~40%的非质子极性溶剂、5~30%的有机醇溶剂、30~45%的水,配向膜脱膜剂组合物中添加剂的重量百分比为0.5~20%。组合物中水含量较大,配向膜脱膜剂组合物的储藏和运输过程中安全隐患少。
优选的技术方案为,吗啉衍生物为选自2-甲基吗啉、3-甲基吗啉、2,5-二甲基吗啉、2,6-二甲基吗啉和2,5,5-三甲基吗啉和中的一种或两种以上的组合。
优选的技术方案为,碱性组分中还包括碱金属氢氧化物、强碱弱酸盐、氨水、水合肼和季铵碱中的一种或两种以上的组合。
优选的技术方案为,非质子极性溶剂为选自N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜、二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的一种或两种以上的组合。
优选的技术方案为,碱性组分由碱金属氢氧化物与吗啉和/或吗啉衍生物组合而成,或者碱性组分由碱金属氢氧化物与吗啉和/或吗啉衍生物组合而成。
优选的技术方案为,有机醇溶剂为选自C2~C4且具有两个以上羟基的有机醇溶剂。
优选的技术方案为,碱性组分由碱金属氢氧化物、季铵碱与吗啉组合而成,碱性组分中碱金属氢氧化物、季铵碱与吗啉的重量之比为(2~3):(2~3):1。
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