[发明专利]感光芯片不同入射角响应度测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种感光芯片不同入射角响应度的测量装置，其特征在于，包括准直激光器(1)、光衰减器(2)、带感光芯片的相机(3)、旋转位移台(4)，

所述的带有感光芯片的相机(3)是将待测的感光芯片置于所述的相机(3)构成的，所述的带有感光芯片的相机(3)固定在所述的旋转位移台(4)上，所述的准直激光器(1)输出的准直光通过光衰减器(2)衰减后，准直地入射至带感光芯片的相机(3)的感光芯片光敏面。

2.根据权利要求1所述的感光芯片不同入射角响应度测量装置，其特征在于，所述的准直激光器(1)是自由空间输出准直激光的器件，或由光纤激光器(5)和准直镜(6)构成。

3.根据权利要求1所述的感光芯片不同入射角响应度测量装置，其特征在于，所述的光衰减器(2)是衰减片、或遮光片、或光纤衰减器。

4.利用权利要求1所述的感光芯片不同入射角响应度测量装置测量感光芯片不同入射角响应度的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：

1)将待测的感光芯片置于所述的相机(3)构成带有感光芯片的相机(3)，调节所述的旋转位移台(4)，使所述的准直激光器(1)输出的准直光正入射所述的带有感光芯片的相机(3)的感光芯片的光敏面；

2)调节所述的光衰减器(2)，保证所述的准直光正入射相机的感光芯片时，所述的相机(3)接收到的光强信号不会溢出，然后固定所述的光衰减器(2)，使光束强度保持不变；

3)调节所述的旋转位移台(4)使准直光束与所述的相机(3)的感光芯片光敏面之间形成不同角度，设置N个采样测量角度，a_i为采集第i幅图像时准直光束与感光芯片光敏面之间的夹角，i＝1、2、…、N，采集N幅图像；

4)用图像处理软件计算所采集到的图像，依次得到所述的N幅图像的最大像素值为X₁、X₂、…、X_N；

5)所述的相机(3)经旋转台(4)旋转后与准直光束之间产生夹角为a_i，a_i≠90°时，其光敏面上旋转方向上的光斑会变长，导致采集到的像素最大值需要修正，修正的比例因子为K：K(a_i)＝1/sin(a_i)，i＝1、2、…、N；

则修正前的N幅图像的最大像素值为X_i，i＝1、2、…、N；

修正后的各值为：Y_i＝K(a_i)*X_i，i＝1、2、…、N；

6)修正数据经归一化再结合所对应的入射角度值，即可得到感应芯片不同入射角响应图。