[发明专利]一种扫描测试方法

说明书

本发明提供一种扫描测试方法，涉及晶体管电性参数测试领域，方法包括：根据晶体管电性测试的特性，确定扫描过程所依赖的基准值，然后以基准值为起始值开始扫描，将扫描得到的信号值与测试参数的目标值进行比较，继续向偏向目标值的方向进行渐进式扫描测试，在渐进式扫描过程中，还可以通过调整扫描步幅进一步加快扫描速度的同时提高扫描精度。本发明的扫描测试方法，不再从开始值进行扫描，而是直接从基准值进行扫描，扫描时间可减少75％以上，同时优化扫描测试精度。

技术领域

本发明涉及晶体管电性参数测试领域，尤其涉及一种扫描测试方法。

背景技术

现有的晶体管电性参数测试技术，常见项目有阈值电压测试及栅氧化层击穿电压测试等测试，目前采用的是逐步扫描测试方法，即扫描时从信号的开始值进行逐步扫描，当检测到目标信号值或扫描到达结束值时结束扫描测试。因为是逐步扫描，存在测试时间长的问题。为解决上述问题，可采用缩减测试步数的方法进行改善，该方法虽减少了测试时间，但测试精度也相对降低；还可采用二分法及先粗扫再细扫等方法进行改善，上述两种方法虽然使测试时间相对减少，也保持了测试精度，但仍不是最优的解决方案。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种扫描测试方法，适用于晶体管电性测试的过程中，包括如下步骤：

S1、根据所述晶体管电性测试的特性，确定本次扫描所依赖的基准值；

S2、在所述晶体管电性测试的过程中，以所述基准值作为起始值进行扫描，直至扫描得到所述晶体管电性测试所规定的目标信号值或者扫描结束为止；

S3、输出停止扫描时得到的信号值，作为本次扫描的扫描结果

优选的，执行所述步骤S1时，预先设置一用于保存历史测试数据的数据库；

所述步骤S1具体包括：

S11、于所述数据库中查询是否存在关联于本次所述晶体管电性测试的所述历史测试数据：

若存在，则转向步骤S12；

若不存在，则根据关联于所述晶体管电性测试的测试数据特性设置所述基准值，随后转向所述步骤S2；

S12、于所述数据库中获取关联于所述晶体管电性测试的所述历史测试数据，并采用一预设的统计规则进行统计处理，得到所述基准值，随后转向所述步骤S2。

优选的，所述步骤S12中，所述预设的统计规则具体包括以下步骤：

S121、获取所述历史测试数据后，去除位于最大值周围的一第一预设数值范围内的所有所述历史测试数据，以及去除位于最小值周围的一第二预设数值范围内的所有所述历史测试数据；

S122、将剩余的所述历史测试数据中的中值作为所述基准值。

优选的，所述步骤S11中，若所述数据库中不存在所述历史测试数据，则判断所述晶体管电性测试中是否规定有目标值：

若是，则将所述目标值设置为所述基准值；

若否，则将所述基准值设置为空。

优选的，所述步骤S1中，当所述基准值为空时，将所述晶体管电性测试中的开始值设置为所述基准值，随后转向所述步骤S3。

优选的，所述步骤S2中，采用渐进式扫描的方式进行扫描。

优选的，所述渐进式扫描方式具体包括：

在扫描过程中实时获取扫描得到的信号值，并于所述晶体管电性测试中规定的所述目标信号值进行比较：

若扫描得到的信号值大于所述目标信号值，则朝向信号值减小的方向进行扫描；