[发明专利]增强近红外波段荧光信号的纳米金属结构及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811304206.8 申请日: 2018-11-03
公开(公告)号: CN109540854B 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 赵文琦;田筱超然;肖诗逸;何琼;周磊;谭砚文;张远波 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64;B82Y15/00;B82Y40/00
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 增强 红外 波段 荧光 信号 纳米 金属结构 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种增强近红外波段荧光信号的纳米金属结构的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:

(a)选用透明的玻璃片作为衬底,用浓硫酸及双氧水混合物对其进行表面清洗;

(b)用高纯氮气吹干玻璃薄片,用旋涂法涂覆胶层PMMA,电子束法蒸镀铝膜以增强样品的导电性、提高加工精度,然后在玻璃片合适区域进行电子束曝光,写出设计的纳米结构阵列;

(c)用化学溶液浸泡经上述处理的物品,去掉铝膜;

(d)用显影液显去结构部分PMMA,显影液预冷至0℃,低温显影30-40min,所用显影液为MIBK和IPA的混合液,混合液中,MIBK和IPA的重量比为1:(2-4);

(e)用电子束法蒸镀金属层,在显影区域形成金属结构阵列,蒸镀厚度为40-60nm;再用丙酮浸泡,超声辅助除去多余的金属-PMMA复合薄膜;

所述纳米金属结构为长度不对称的头对头双棒状金属结构,设较短金属棒长度为b1,较长金属棒长度为b2;固定结构双棒间距离为40nm,在使用760nm激光激发条件下,以总体荧光增强倍数100倍为下限,模拟计算得结构参数如下表所示:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(a)中玻璃片厚度为0.15-0.20mm;浓硫酸与双氧水的重量比为(2-4):1。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(b)中蒸镀的铝膜膜厚度为5-10nm。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(c)中所用化学溶液为3038正胶显影液和去离子水的混合液,3038正胶显影液与去离子水的重量比为1:(3-5)。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(e)中金属层材料为金或银。

6.由权利要求1-5之一所述的制备方法得到的有效增强近红外波段单分子荧光信号的不对称纳米金属结构。

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