[发明专利]一种溅射机油温加热器

权利要求书

1.一种溅射机油温加热器，包括云母隔热盘(1)、加热管(5)、底座(2)和位于底座(2)内的驱动线路，其特征在于：所述云母隔热盘(1)内开设有若干曲线槽(11)，所述曲线槽(11)内沿槽布置加热管(5)，所述加热管(5)两端分别与设置在所述曲线槽(11)两端的接线柱(7)连接；所述加热管(5)包括碗形陶瓷管(51)和其内的电阻丝(52)，所述接线柱(7)包括陶瓷密封壳(71)和位于其内与所述驱动线路电连接的电桩(72)；所述电阻丝(52)与电桩(72)电连接，所述碗形陶瓷管(51)与陶瓷密封壳(71)密封连接。

2.根据权利要求1所述的溅射机油温加热器，其特征在于：所述云母隔热盘(1)等分为三个扇形面，每个扇形面内均开设一条曲线槽(11)，并且所述曲线槽(11)为若干首尾相接的S形。

3.根据权利要求1所述的溅射机油温加热器，其特征在于：还包括与所述驱动线路连接的插头(6)，所述插头(6)设置在底座(2)侧面。

4.根据权利要求1所述的溅射机油温加热器，其特征在于：所述底座(2)两侧对称设置一对提耳(4)。

5.根据权利要求1-4任一项所述的溅射机油温加热器，其特征在于：所述底座(2)底部还安装有支脚(3)。

6.根据权利要求1所述的溅射机油温加热器，其特征在于：所述曲线槽(11)的横截面与碗形陶瓷管(51)外形贴合。

7.根据权利要求6所述的溅射机油温加热器，其特征在于：所述碗形陶瓷管(51)的上管壁与曲线槽(11)上平面齐平，下管壁完全埋在曲线槽(11)中。