[发明专利]一种折射式位移传感器及其测量方法

权利要求书

1.一种折射式位移传感器，其特征在于，包括：

三角波反射镜，包括至少一个反射面，所述至少一个反射面沿移动方向依次分布；

激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面；

折射镜，用于接收所述反射面反射的激光束，并使接收的激光束发生折射；

光电探测器，用于接收经折射镜折射的激光束，并测量其入射位置；

处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。

2.根据权利要求1所述的折射式位移传感器，其特征在于，所述折射镜与光电探测器贴合。

3.根据权利要求1所述的折射式位移传感器，其特征在于，所述激光束为P偏振光。

4.根据权利要求1所述的折射式位移传感器，其特征在于，所述折射镜的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行。

5.根据权利要求1-4任一所述的折射式位移传感器，其特征在于，还包括壳体，激光源、折射镜和光电探测器均固定设置于壳体内，组成一个读数头。

6.根据权利要求5所述的折射式位移传感器，其特征在于，所述读数头为至少两个，且所述至少两个读数头之间的位置关系满足：在测量过程中，至少有一个读数头可以读取到激光束在光电探测器上的入射位置变化量。

7.根据权利要求1-6任一所述的折射式位移传感器的测量方法，其特征在于，包括以下步骤:

将被测物体固定在三角波反射镜或读数头上；

调整激光源、三角波反射镜、光电探测器、折射镜的位置关系，使得激光源发射的激光束入射至三角波反射镜的一个反射面，经该反射面反射后入射至折射镜，折射镜接收到三角波反射镜的反射面反射的激光束，使接收的激光束折射并入射至光电探测器；

发射激光束，所述激光束在经三角波反射镜反射至折射镜并经过折射后,被光电探测器探测到其初始入射位置；

被测物体位移，在位移过程中，光电探测器检测激光束的入射位置的变化，直到被测物体停止位移；

处理系统通过光电探测器检测到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移值。