[发明专利]一种利用飞秒激光制备柔性大面积钙钛矿太阳能电池组件的方法

权利要求书

1.一种利用飞秒激光制备柔性大面积钙钛矿太阳能电池组件的方法，包括如下步骤：

（1）利用飞秒激光在含透明导电层的基板上划线，剥落切线上的透明导电层；

（2）清洗基板，在干净的透明导电层上依次沉积功能层，所述功能层从下往上依次是电子传输层、钙钛矿吸光层和空穴传输层；然后利用飞秒激光在功能层上划线，剥落切线上的功能层且不损伤透明导电层，所述功能层上划线的位置与步骤（1）所述透明导电层上划线的位置需要相错开；

（3）清洗基板，在干净的功能层上沉积金属电极，然后利用飞秒激光在金属电极层和功能层上划线，剥落切线上的金属电极层和功能层，且不损伤透明导电层，所述金属电极层和功能层上划线的位置与步骤（1）所述透明导电层上划线的位置、步骤（2）所述功能层上划线的位置均需相错开；切线完成后，即制备得到串联结构的柔性大面积钙钛矿太阳能电池。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述利用飞秒激光在透明导电

层上划线的加工参数为：飞秒模式，重复频率为200k Hz~5M Hz，激光功率为8~18W，振镜扫描速度为800~3000 mm/s。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述利用飞秒激光在功能层上

划线的加工参数为：飞秒模式，重复频率为200k Hz~5M Hz，激光功率为9~18 W，振镜扫描速度为1000~3000 mm/s。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（3）所述利用飞秒激光在金属电极

层和功能层上划线的加工参数为：飞秒模式，重复频率为200k Hz~5M Hz，激光功率为8~18 W，振镜扫描速度为800~2000 mm/s。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述含透明导电层的基板包括但不限于

含掺杂氟的SnO₂（FTO）镀层的透明导电玻璃基板、含氧化铟锡（ITO）镀层的透明导电玻璃基板、含氧化铟锡（ITO）镀层的聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）透明导电塑料基板、或含氧化铟锡（ITO）镀层的聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）透明导电塑料基板。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述电子传输层为二氧化钛、氧化锡、

氧化锌、或有机电子传输材料。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的钙钛矿吸光层选自如下一种：

CH₃NH₃PbI₃(MAPbI₃)、HC(NH₂)₂PbI₃(FAPbI₃)和CsPbI₃。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述空穴传输层为spiro-OMeTAD、P3HT、

或PEDOT:PSS。

9.根据权利要求1所述的制备方法，所述的金属电极为金电极、银电极、或铜电极。