[发明专利]五通道多色滤光片

说明书

本发明属光学薄膜技术领域，具体涉及一种五通道多色滤光片，包括膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5、膜系6和蓝宝石基底，所述膜系1沉积于所述蓝宝石基底的一侧，所述膜系2、所述膜系3、所述膜系4、所述膜系5、所述膜系6依照编号顺序沉积于所述蓝宝石基底的另一侧，所述膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5和膜系6均由二氧化硅膜层(L)和氧化钛膜层(H)交替叠加组成。相比于现有技术，本发明中的五通道多色滤光片在5个谱段内具有高透过率，更符合遥感探测系统中全光谱的应用需求，同时，材质从常规的10个膜系减少至6个膜系，工序减少，降低了产品的研制成本，同时提高了成品率。

技术领域

本发明属光学薄膜技术领域，具体涉及一种五通道多色滤光片。

背景技术

目前遥感探测系统的多光谱、全光谱成像系统中，亟需一种满足以下要求的关键滤光片：(1)在450±5～510±6nm、510±6～580±6nm、630±7～690±7nm、770±8～895±9nm、450±5～800±9nm五个谱段通道内具有高透过率(≥90％)；(2)由于300～1100nm普段内具有抑制光信号的作用，以减少信号噪声的影响，因此在300～1100nm普段内应具有低透过率；(3)滤光片的基底材料应为同一个基底材料；(4)每个通带的镀膜区域较窄，应为3毫米以内，因此造成镀膜工艺难度增大。

检索到的较接近的对比文件(CN201410403432.7)公开了一种双色滤光片及设计方法，由基片及基片两侧的带有增透带的单带通膜系组成，基片两侧的带有增透带的单带通膜系为多腔串置的法布里-珀珞带通膜系，其基本结构为[反射层│间隔层│反射层]k，具体膜系结构为：[…HLH│mL│HLH…]k或者[…LHL│mH│LHL…]k，其中H代表高折射率材料，L代表低折射率材料，k是大于1的整数，代表谐振腔数目，m是不小于2的偶数；基片每一侧的单带通膜系的光谱增加一个能够覆盖另一侧单带通通带范围的增透带，基片两侧的带有增透带的单带通膜系组合在一起构成双色滤光片，并且基片每一侧的单带通滤光片的截至带叠加到一起构成双色滤光片的截止带。然而，现有文件中的滤光片为双色滤光片，仅有两个谱段通道，无法很好满足多光谱、全光谱成像系统中的滤光片的需求。

而关于遥感探测系统的多光谱、全光谱成像系统中也未见关于该五个通道多色滤光片的相关研究报告；此外，由于制备五通道多色滤光片涉及到膜系较多，设计较为复杂，按照传统的设计思路，采用的方案是在基片两面分别镀制不同的长波通膜系和短波通膜系，一共需要10个膜系，每个膜系镀制时均需对非镀膜区进行保护，工序较为复杂，成品率非常低。

发明内容

为了解决现有技术中的问题，本发明提供一种五通道多色滤光片，所述滤光片在450±5～510±6nm、510±6～580±6nm、630±7～690±7nm、770±8～895±9nm、450±5～800±9nm五个谱段通道内具有≥90％的透过率，在300～1100nm其他范围内具有≤0.5％的透过率，同时具有同一基底、通带窄、透过率高等特点。

具体技术方案如下：

一种五通道多色滤光片，包括膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5、膜系6和蓝宝石基底，所述膜系1沉积于所述蓝宝石基底的一侧，所述膜系2、所述膜系3、所述膜系4、所述膜系5、所述膜系6依照编号顺序沉积于所述蓝宝石基底的另一侧，所述膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5和膜系6均由二氧化硅膜层(L)和氧化钛膜层(H)交替叠加组成。

在某些实施方式中，所述膜系1的结构为(0.5LH0.5L)^12(0.18H0.36L0.18H)^10，所述膜系1的中心波长为1025nm。

在某些实施方式中，所述膜系2的结构为(0.5LH0.5L)^12(0.60L1.20H0.60L)^9(0.75L1.5H0.75L)^8，所述膜系2的中心波长为600nm，