[发明专利]一种网络状纳米电阻及其制备方法在审
| 申请号： | 201811312472.5 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109521058A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张成云;程朗;李炜键;刘志宇 | 申请（专利权）人： | 广州大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;B82Y40/00;H01C17/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋静娜 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 纳米网络 网络状 电阻 衬底材料表面 规则分布 金属钯 真空热蒸发镀膜 传感器器件 太阳能电池 衬底材料 大量材料 厚度可控 生物医药 无机滤膜 镀膜 可用 | ||
【权利要求书】：
1.一种网络状纳米电阻的制备方法，其特征在于，利用真空热蒸发镀膜法，以多孔无机滤膜作为衬底材料，制备具有金属钯网络状纳米结构电阻。
2.根据权利要求1所述的网络状纳米电阻的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)衬底准备：以多孔无机滤膜作为衬底，所述多孔无机滤膜的直径为1.3cm，厚度为0.5mm，内部密集孔洞的孔径为20nm；
(2)真空热蒸发镀膜：截出需要蒸镀的长度为0.846mm，称重为1.996mg的钯金属丝，放到蒸发钨舟上；将多孔无机滤膜置于样品台上并固定，盖上玻璃外罩抽真空，饱和蒸汽压为2.7×10-3Pa，加载电流为140A；控制镀膜时间为30s，逐步减小加载电流直至为零，将镀好膜的多孔无机滤膜取出；
(3)纳米电阻模型的制备：将步骤(2)中镀好膜的多孔无机滤膜放入铜电极基座，并使用银浆将多孔无机滤膜固定在铜电极基座上，得到所述网络状纳米电阻。
3.根据权利要求2所述的网络状纳米电阻的制备方法，其特征在于，所述多孔无机滤膜为多孔氧化铝滤膜。
4.根据权利要求2所述的网络状纳米电阻的制备方法，其特征在于，所述钯金属丝的纯度为99.99％。
5.根据权利要求1～4任一项方法制备得到的网络状纳米电阻。
6.根据权利要求5所述的网络状纳米电阻在制备电阻型纳米氢气传感器件中的应用。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州大学，未经广州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811312472.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
