[发明专利]X射线荧光光度计

权利要求书

1.用于测量由目标(7)发射的X射线荧光的X射线荧光XRF光度计(10)，所述XRF光度计(10)包括：

具有发射发散的X射线波束(3a)的阳极(2)的X射线管(1)；

被配置成将发散的X射线波束(3a)聚焦在目标(7)上的毛细管透镜(6)；

定位在X射线管(1)的阳极(2)与毛细管透镜(6)之间并且包括至少一个针孔(9a，9b)的孔径系统(4)；以及

被配置用于检测由目标(7)发射的X射线荧光辐射的检测器(8)，

其中所述至少一个针孔(9a，9b)被配置用于插入到发散的X射线波束(3a)中并且用于减小阳极(2)与毛细管透镜(6)之间的发散的X射线波束(3a)的波束截面(5a)；

其中所述XRF光度计还包括控制单元，被配置用于通过经由孔径系统(4)控制发散的X射线波束(3a)的波束截面(5a)，来适配所述XRF光度计的焦深d_F，

其中控制单元还被配置用于基于目标(7)的形貌和/或在X和Y方向中的至少一个上扫描目标(7)的同时适配所述XRF光度计(10)的焦深d_F。

2.权利要求1所述的XRF光度计(10)，其中将毛细管透镜(6)的前焦点放置在阳极(2)处。

3.权利要求1或2所述的XRF光度计(10)，其中X射线管(1)是微聚焦管和/或其中XRF光度计(10)是微XRF光度计。

4.权利要求1或2所述的XRF光度计(10)，

其中毛细管透镜(6)具有遵循以下等式的入口孔径(11)、前焦距和前孔径角α：并且其中，前焦距对应于入口孔径(11)与阳极(2)之间的距离，和/或

其中毛细管透镜(6)具有遵循以下等式的出口孔径(12)、后焦距和后孔径角β：并且其中后焦距对应于出口孔径(12)与目标(7)之间的距离。

5.权利要求1或2所述的XRF光度计(10)，其中孔径系统(4)包括可调节尺寸的至少一个针孔(9a，9b)。

6.权利要求1或2所述的XRF光度计(10)，其中孔径系统包括旋转器(4)或滑动器，所述旋转器(4)或滑动器每一个具有不同尺寸的多个针孔(9a，9b)，所述多个针孔(9a，9b)每一个被配置用于单独地插入到发散的X射线波束(3a)中。

7.权利要求6所述的XRF光度计(10)，其中旋转器(4)或滑动器还包括用于在频谱上修改发散的X射线波束(3a)的至少一个滤波器。

8.权利要求6所述的XRF光度计(10)，还包括具有用于在频谱上修改发散的X射线波束(3a)的至少一个滤波器的附加旋转器或滑动器。

9.用于调节X射线荧光XRF光度计(10)的焦深d_F的方法，所述XRF光度计(10)包括具有发射发散的X射线波束(3a)的阳极(2)的X射线管(1)、被配置成将发散的X射线波束(3a)聚焦在目标(7)上的毛细管透镜(6)、定位在X射线管(1)的阳极(2)与毛细管透镜(6)之间并且包括至少一个针孔(9a，9b)的孔径系统(4)、以及被配置用于控制孔径系统并用于执行以下步骤的控制单元：

将所述至少一个针孔(9a，9b)之一插入在阳极(2)与毛细管透镜(6)之间的发散的X射线波束(3a)中；

利用所述至少一个针孔(9a，9b)之一减小发散的X射线波束(3a)的截面和毛细管透镜(6)的前孔径角α；

增加XRF光度计(10)的焦深d_F；

基于目标(7)的形貌估计要求的目标焦深；以及

基于所估计的目标焦深设定XRF光度计(10)的焦深d_F。

10.权利要求9所述的方法，控制单元还执行以下步骤：

在X和Y方向中的至少一个上扫描目标(7)；以及

在扫描目标(7)的同时适配XRF光度计的焦深d_F。