[发明专利]一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法

权利要求书

1.一种电压可调谐驱动的干涉滤色器，其特征在于，包括从下至上依次设置的衬底、底部电极E1、软介质、具有穿孔结构的顶部电极E2、光腔和上层基板；所述软介质为可挤压的聚合物；所述软介质延伸穿过所述穿孔结构形成顶部具有相同凸出高度的柱状纹理；所述柱状纹理的顶部与所述上层基板相接触。

2.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物为介电弹性体。

3.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物为凝胶。

4.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物的厚度为1～20μm。

5.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物具有液晶组分。

6.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物具有纳米或微米颗粒；所述纳米或微米颗粒为软状。

7.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物具有纳米或微米颗粒；所述纳米或微米颗粒为固状。

8.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述衬底为刚性或柔性衬底；所述底部电极E1为薄膜状导电材料；所述光腔为空腔；所述顶部电极E2为导电薄膜；所述上层基板为透明基板。

9.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述上层基板的表面涂覆有导电薄膜。

10.根据权利要求9所述干涉滤色器，其特征在于，所述导电薄膜为透明或半透明状。

11.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述上层基板的表面涂覆有膜系。

12.根据权利要求11所述干涉滤色器，其特征在于，所述膜系为透明或半透明状；所述膜系由绝缘材料制成。

13.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述光腔中含有气体介质或液体介质。

14.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，干涉滤色器选用反射操作模式时，所述衬底、底部电极E1、聚合物为透明或不透明状；所述顶部电极E2为金属；干涉滤色器选用透射操作模式时，所述衬底为透明状；所述底部电极E1、顶部电极E2、聚合物为透明或半透明状。

15.权利要求1～14任一所述干涉滤色器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：在带底部电极的衬底上；涂覆聚合物预聚物，交联为聚合物，得到软介质，并形成柱状纹理；

S2：将顶部电极E2转移至软介质上；或在软介质表面光刻沉积或直接沉积得到顶部电极E2，聚合物的柱状纹理延伸穿过顶部电极E2中的穿孔；

S3：在柱状纹理上覆盖上层基板即得到干涉滤色器。