[发明专利]一种用碳纤维包覆金属杆制备承载器制品及其制备方法

权利要求书

1.一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：硅片承载器制品应用碳纤维包覆金属杆作为硅片承载器的拉杆。

2.根据权利要求1所述的一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：所述碳纤维包覆，可以采用市售碳纤维空管产品套进金属杆后封闭两端、也可以采用碳纤维丝经过缠绕或编织制备、还可以采用碳纤维板或碳纤维布经过粘合制备。

3.根据权利要求1所述的一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：所述金属杆可以是平滑金属杆或带有螺纹金属杆。

4.根据权利要求1所述的一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：所述粘合可以选用环氧树脂粘合剂进行粘合，也可以用热塑性树脂进行粘合。

5.根据权利要求1所述的一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：将金属杆浸渍环氧树脂后，外面套上碳纤维空管，两端封堵上碳纤维杆或碳块，用环氧树脂粘合、固化、密封。

6.根据权利要求1所述的一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：在金属杆上缠绕碳纤维丝束，缠绕的同时，碳纤维上喷淋或浸渍环氧树脂，然后固化处理。

7.根据权利要求1所述的一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：在金属杆上缠绕碳纤维布或碳纤维板，用环氧树脂粘合，固化。

8.根据权利要求1所述的一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：将碳纤维包覆金属杆制品固定在模具中，外层整体注射耐腐蚀塑料，采用一次成型，制备出硅片承载器。

9.根据权利要求1所述的一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：碳纤维包覆金属杆制品作为芯，外层注射耐腐蚀塑料，制备出拉杆，拉杆与端板焊接，制备成硅片承载器。

10.根据权利要求1所述的一种应用碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法，其特征在于：碳纤维包覆金属杆制品作为芯，插入到耐腐蚀塑料空心管中，制备出拉杆，拉杆与端板焊接，制备成硅片承载器。