[发明专利]一种硅片自动插片设备

权利要求书

1.一种硅片自动插片设备，其特征在于：包括工作台架(1)、电缸(2)、水槽(3)、片篮(4)、滑道(5)和水路系统(6)，所述工作台架(1)的上部设有控制箱(11)，下部设有储物柜(12)，控制箱(11)与储物柜(12)之间通过背板(13)固定连接，所述背板(13)位于控制箱(11)与储物柜(12)的同侧，所述水路系统(6)位于储物柜(12)之内，所述储物柜(12)之上围设有工作台(7)；

所述水槽(3)置于工作台(7)之内，水槽(3)与背板(13)之间留有空腔，所述电缸(2)设于所述工作台架(1)与水槽(3)之间的空腔内，其下部穿过并固定于储物柜(12)顶部，所述电缸(2)包括外壳(22)和活塞杆(21)，所述活塞杆(21)的一端插入外壳(22)之内，另一端固定连接有片篮支架(41)，所述片篮支架(41)向下伸入水槽(3)之中，与水槽(3)内壁相依，其下部设有横板(411)，所述片篮(4)放置于横板(411)之上；

所述滑道(5)位于片篮(4)远离片篮支架(41)的一侧，由固设于水槽(3)内壁的支撑结构支撑，所述滑道(5)与片篮(4)相邻，邻近片篮(4)的一侧向下倾斜，所述滑道(5)上表面高于片篮(4)内底面且与片篮(4)的底面平行。

2.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述电缸(2)、片篮支架(41)、片篮(4)和滑道(5)沿同一角度倾斜，所述滑道(5)远离片篮(4)的一端高于水槽(3)边缘，另一端伸入水槽(3)之内。

3.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述支撑结构包括支撑板(31)和支撑台(51)，支撑台(51)位于支撑板(31)的上方，所述支撑台(51)的底部设有螺杆(511)，所述支撑板(31)上设有若干槽孔(311)，所述螺杆(511)从槽孔(311)中穿过。

4.根据权利要求3所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：两个所述支撑台(51)之间设有内卡爪(515)，两个所述支撑台(51)的两侧设有外卡爪(512)，内卡爪(515)与外卡爪(512)的下部均与支撑台(51)固定连接，所述内卡爪(512)的内部设有上下贯通的螺纹孔，螺纹孔内旋有贯穿卡爪(512)的螺栓(514)，所述外卡爪(512)的上部垂直向外弯折，弯折部分上设有紧固螺栓(513)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述滑道(5)的两侧设有卡位板(52)，所述卡位板(52)远离片篮(4)一端的内表面为外扩斜面。

6.根据权利要求5所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述滑道(5)上设有若干螺纹孔(521)，两个所述卡位板(52)通过螺栓与对应位置的螺纹孔(521)相对靠近或远离。

7.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述滑道(5)靠近片篮(4)的一端设有限位框(53)，所述限位框(53)的顶部设有光纤传感器(531)。

8.根据权利要求7所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述控制箱(11)的底面设有光电传感器(111)，所述光电传感器(111)与片篮(4)相对。

9.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述水槽(3)的底部与所述水路系统(6)相连通，所述水路系统(6)由若干水管组成，外接去离子水，通过上端溢流口(61)向水槽(3)内注入去离子水。