[发明专利]一种高密度聚硅氧烷纳米管簇表面涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201811320390.5 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109485893A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 夏爽;刘小兵;李玉全;芦艾;赵秀丽 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院化工材料研究所 |
| 主分类号： | C08J7/06 | 分类号： | C08J7/06;C08J7/12;C08L83/04 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 刘兴亮 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚硅氧烷 纳米管 表面涂层 制备 反应沉积 硅橡胶 表面羟基化 致密 氧气等离子 羟基官能团 表面生长 功能表面 硅烷单体 湿度恒定 疏水性能 纳米簇 基材 刻蚀 | ||
1.一种高密度聚硅氧烷纳米管簇表面涂层的制备方法，其特征在于包括如下步骤：
步骤一、以硅橡胶作为基材，对其表面进行氧气等离子刻蚀，实现表面羟基化；
步骤二、将表面羟基化硅橡胶置于反应沉积装置中，控制反应沉积装置内的湿度恒定在目标湿度范围；
步骤三、在反应沉积装置中注入一定量硅烷单体，室温下反应4h，得到高密度聚硅氧烷纳米管簇表面涂层。
2.根据权利要求1所述高密度聚硅氧烷纳米管簇表面涂层的制备方法，其特征在于：
步骤一中，对硅橡胶表面进行氧气等离子刻蚀，具体条件为：
控制硅橡胶表面氧气流速为8cc，激发频率13.56MHz，功率100w。
3.根据权利要求1所述高密度聚硅氧烷纳米管簇表面涂层的制备方法，其特征在于：
步骤二中，控制反应沉积装置内的湿度恒定在目标湿度范围，具体方法为：
在反应沉积装置上，通过混合仓连接有干燥氮气进气瓶和湿润氮气进气瓶，干燥氮气进气瓶和湿润氮气进气瓶的出气口经过混合仓后与反应沉积装置连接，同时，在混合仓内设置有湿度检测器，通过调节干燥氮气进气瓶和湿润氮气进气瓶的出气量，控制湿度检测器检测到的混合仓内湿度稳定在目标湿度范围之后，将混合仓内气体送入反应沉积装置，并持续出气一段时间，使得反应沉积装置内的湿度也稳定在目标湿度范围内，随后关闭反应沉积装置的出气阀门和进气阀门，保持湿度稳定。
4.根据权利要求1所述高密度聚硅氧烷纳米管簇表面涂层的制备方法，其特征在于：
所述的硅烷单体包括甲基三氯硅烷，乙基三氯硅烷，苯基三氯硅烷等三官能度硅烷。
5.根据权利要求1所述高密度聚硅氧烷纳米管簇表面涂层的制备方法，其特征在于：
目标湿度是相对湿度50％至59％。
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