[发明专利]一种真空电容器

说明书

本发明涉及真空电容领域，提供一种真空电容器，用于提高电容的使用寿命问题。本发明提供的一种真空电容器，包括固定电极、可动电极、可动电极轴和外壳；所述的可动电极同可动电极轴连接，所述的可动电极轴同外壳内部的顶部和底部连接，所述的固定电极设置在外壳内部。采用新式的固定电极，电极的温度可以得到有效的控制，电容的能量效率有了一定的提高，可以显著增加电容的使用寿命。

技术领域

本发明涉及真空电容领域，具体涉及一种真空电容器。

背景技术

很多真空电容器应用于例如半导体制造系统中使用的高频供电电路中。在将真空电容器按其结构宽泛地归类时，有两种类型的真空电容器：电容值固定的固定型真空电容器以及电容值可变的可变型真空电容器。

作为可变型真空电容器的例子，已知一种电容器，其中固定电极和可动电极布置于真空外壳中并且在通过使用波纹管等保持真空外壳中的真空状态的同时通过移动可动电极来使电容变化。作为真空外壳，提供由绝缘材料（比如陶瓷材料）制成的绝缘管本体以及由铜等材料制成的密封元件，并且绝缘管本体的每个开口端侧由所述密封元件封闭，从而形成真空外壳。每个密封元件主要由设置于绝缘管本体的开口端侧处的管元件和封闭管元件的盖元件形成。

固定电极由直径彼此不同并且同心地布置的多个基本上圆柱形电极元件所形成（例如，这些圆柱形电极元件以一定间距布置）。固定电极设置在真空外壳内密封元件之一（下文中，称为一侧密封元件，并且另一个称为另一侧密封元件）处。与固定电极相同，可动电极由直径彼此不同并且同心地布置的多个基本上圆柱形电极元件所形成（例如，这些圆柱形电极元件以一定间距布置）。在真空外壳内设置可动电极以使得可动电极的每个电极元件能以可动电极的每个电极元件与固定电极的电极元件非接触的方式插入固定电极的电极元件之间的间隙和从该间隙中抽出（可动电极的电极元件以交错构造布置以便插入固定电极的电极元件之间的间隙和从该间隙中抽出并且交替地与固定电极的电极元件重叠）。该可动电极由沿真空外壳的轴向移动的可动电极轴（可动电极轴移动以便能调节可动电极相对于固定电极的插入/抽出程度）支撑。

目前，真空电容器产品在使用过程中，易出现产品内部发热高，温升变化大的现象。加之，产品的小型化，内部空间的减少，温升变化大的现象直接导致产品内部重复打火烧伤、微爆炸，存在严重的质量隐患。

发明内容

本发明解决的技术问题为提高电容的使用寿命问题，提供一种真空电容器。

为了解决上述技术问题，本发明提供的技术方案为：

一种真空电容器，包括固定电极、可动电极、可动电极轴和外壳；所述的可动电极同可动电极轴连接，所述的可动电极轴同外壳内部的顶部和底部连接，所述的固定电极设置在外壳内部； 所述的固定电极制备方法包括： 取氧化石墨烯10~25质量份，酸化碳纳米管5~10质量份加入到无水乙醇50~80质量份中，超声分散，得到悬浮液； 将悬浮液同100~150质量份的硝酸镁溶液混合，搅拌均匀，超声分散25min，得到电解液，所述的硝酸镁溶液中包含10~15质量份的硝酸镁； 将两组铝箔分别平行对称放置入电解液中，在成对的两组铝箔之间加入直流电，电泳10min，将铝箔取出干燥，60~100℃下真空烘烤后得到改性铝箔；将改性铝箔在氨气气氛中焙烧，得到固定电极。

采用新式的固定电极，电极的温度可以得到有效的控制，电容的能量效率有了一定的提高，可以显著增加电容的使用寿命。

电容的使用寿命得到了显著的提高，电容内温度得到了有效的控制。