[发明专利]曝光系统、曝光方法及显示用面板基板的制造方法

权利要求书

1.一种曝光系统，包含

标记装置，于经涂布于同一个长方形的基板的光阻上，于该基板的长边方向及短边方向的仅一边以指定的间隔形成二个以上的基板标记；以及

多个曝光装置，于同一个该基板曝光图样，

其中，多个该曝光装置，分别包含

屏蔽架，用以支承屏蔽，该屏蔽的尺寸较同一个该基板小，且形成有该图样及多个屏蔽标记，该屏蔽标记以与该基板标记为相同间隔所形成；

夹盘，用以搭载同一个该基板，该基板形成有多个该基板标记；

平台，使该屏蔽架及该夹盘相对地移动；

驱动电路，用以驱动该平台；

图像取得装置，用以取得该屏蔽标记及形成于该基板的长边方向及短边方向的仅一边的该基板标记的图像，并将取得的图像的图像讯号输出；

图像处理装置，用以将自该图像取得装置输出的该图像讯号予以处理，而检测出该屏蔽标记与形成于该基板的长边方向及短边方向的仅一边的该基板标记的偏移量；

激光测量装置，用以检测出该平台的位置；及

控制装置，用以控制该驱动电路，对应通过该图像处理装置所检测出的该屏蔽标记与形成于该基板的长边方向及短边方向的仅一边的该基板标记的偏移量，使该平台移动以进行该屏蔽标记与形成于该基板的长边方向及短边方向的仅一边的该基板标记的位置校准，而进行该屏蔽及同一个该基板的相对位置定位，之后基于该激光测量装置的检测结果，以使该基板的曝光区域的位置与该屏蔽的图样的位置一致的方式，使该平台移动以将该屏蔽的图样控制于同一个该基板曝光的位置，

其中，该曝光系统将彼此为相异尺寸的该图样于同一个该基板曝光。

2.如权利要求1所述的曝光系统，其中该屏蔽于两个方向分别形成两个以上的该屏蔽标记，

该基板为长方形，于其长边方向或短边方向形成有两个以上的该基板标记，

多个该曝光装置，将该基板以纵向或横向的状态搭载该夹盘，通过该图像取得装置，取得该屏蔽标记及该基板标记的图像，而进行该屏蔽标记与该基板标记的位置校准。

3.如权利要求1或2所述的曝光系统，其中多个该曝光装置中的至少一个，基于该激光测量装置的检测结果，进行多次该平台的移动，而将多个该图样曝光于该基板。

4.如权利要求1至3中任一项所述的曝光系统，其中该标记装置具有曝光组件，自该曝光组件对该基板标记的周围照射曝光光线而将该基板标记曝光。

5.如权利要求1至3中任一项所述的曝光系统，其中多个该曝光装置中最后进行曝光的该曝光装置，在进行该屏蔽标记与该基板标记的位置校准后，将该屏蔽标记及该基板标记曝光于该基板。

6.一种曝光方法，包含以下步骤：

通过标记装置，于经涂布于同一个长方形的基板的光阻上，于该基板的长边方向及短边方向的仅一边以指定的间隔形成二个以上的基板标记；

于多个曝光装置中，分别

将屏蔽支承于屏蔽架，该屏蔽的尺寸较同一个该基板小，且形成有图样及多个屏蔽标记，该屏蔽标记以与该基板标记为相同间隔所形成；

将形成有多个该基板标记的同一个该基板搭载于夹盘；

将该屏蔽架及该夹盘通过平台而相对地移动；

通过图像取得装置，取得该屏蔽标记及形成于该基板的长边方向及短边方向的仅一边的该基板标记的图像，并将取得的图像的图像讯号输出；

通过图像处理装置，将自该图像取得装置输出的该图像讯号予以处理，而检测出该屏蔽标记与形成于该基板的长边方向及短边方向的仅一边的该基板标记的偏移量；

利用激光测量装置，检测出该平台的位置；以及

对应该图像处理装置所检测出的该屏蔽标记与形成于该基板的长边方向及短边方向的仅一边的该基板标记的偏移量，使该平台移动，并且进行该屏蔽标记与形成于该基板的长边方向及短边方向的仅一边的该基板标记的位置校准，而进行该屏蔽及同一个该基板的相对位置定位，

之后基于该激光测量装置的检测结果，使该平台移动，以使该基板的曝光区域的位置与该屏蔽的图样的位置一致的方式，将该屏蔽的图样控制于同一个该基板曝光的位置，于同一个该基板进行该图样的曝光，

将彼此为相异尺寸的该图样曝光于同一个该基板。