[发明专利]衬底支架、光刻装置、器件制造方法和制造衬底保持器的方法

权利要求书

1.一种提供用于光刻装置的衬底保持器的方法，所述衬底保持器具有用于支撑衬底的多个突节，并且具有拥有粗糙上表面的突节，所述方法包括：

研磨所述突节的所述粗糙上表面以便提供平滑表面，并且

在所述平滑表面的顶部上添加层，以使得其高度大于所述多个突节的高度。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在所述平滑表面的顶部上添加所述层包括：激光烧结。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述激光烧结包括：在所述平滑表面的顶部上施加粉末层，并且以辐射束选择性辐射所述粉末层，以使得所述粉末在所辐射的位置处至少部分熔化。

4.根据权利要求2所述的方法，其中所述激光烧结包括：辐射所述平滑表面上的位置，并且在所辐射的位置喷射粉末。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括：在对受损的突节的所述粗糙上表面进行研磨期间，提供临时保护涂层以覆盖所述多个突节。

6.根据权利要去1所述的方法，还包括：清洁和/或预处理所述平滑的表面。

7.根据权利要求6所述的方法，其中使用臭氧清洁所述平滑表面。

8.根据权利要求6所述的方法，其中通过应用底漆来预处理所述平滑表面。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的方法，其中所述突节包括从由以下各项构成的组中选择的至少一种材料：Ti、Si、熔融石英、堇青石、类金刚石、SiC、SiO2、AlN、TiN以及CrN。

10.根据权利要求1-8中任一项所述的方法，其中所述突节包括基质材料和嵌在所述基质材料中的微粒。

11.根据权利要求1-8中任一项所述的方法，其中所述突节包括第一材料的第一层和第二材料的第二层，所述第二材料不同于所述第一材料。

12.根据权利要求11所述的方法，所述第一材料和所述第二材料的属性或组分不同。