[发明专利]双螺旋主轴温控系统及其控制方法在审

专利信息
申请号: 201811328940.8 申请日: 2018-11-09
公开(公告)号: CN109227221A 公开(公告)日: 2019-01-18
发明(设计)人: 谭立杰;王广峰;张乾;周立庆;肖钰;黄卫国;程秀全;程雨 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: B23Q11/12 分类号: B23Q11/12
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 王晖
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 双螺旋 轴套 供水机构 温控机构 出水口 进水口 连通 出水通路 进水通路 螺旋凹槽 温控系统 轴套机构 安装座 出水口位置 进水口位置 监测结果 控制连接 密封安装 涉及设备 循环连通 供水量 螺旋状 内壁 外壁 轴向 监测 进口 出口 制造
【权利要求书】:

1.一种双螺旋主轴温控系统,其特征在于,包括:

双螺旋轴套机构,所述双螺旋轴套机构包括双螺旋轴套、主轴和安装座;

所述双螺旋轴套的内壁或所述主轴的外壁沿轴向开设有两个螺旋状的螺旋凹槽,所述主轴通过所述安装座密封安装在所述双螺旋轴套内,两个所述螺旋凹槽在所述主轴和所述双螺旋轴套之间构成循环连通的进水通路和出水通路;

所述双螺旋轴套上设置有进水口和出水口,所述进水口和所述出水口分别与所述进水通路和所述出水通路连通;

供水机构,所述供水机构的出口与所述进水口连通,用于向所述进水通路输送冷却水;所述供水机构的进口与所述出水口连通,用于回收所述出水通路的冷却水;

温控机构,所述温控机构用于监测所述进水口位置和所述出水口位置的水温值;

控制机构,所述控制机构与所述供水机构和所述温控机构控制连接,用于根据所述温控机构的监测结果控制所述供水机构的供水量。

2.根据权利要求1所述的双螺旋主轴温控系统,其特征在于,所述温控机构包括:

第一传感器和第二传感器,所述第一传感器和所述第二传感器分别安装在所述进水口和所述出水口的位置,用于监测所述进水口位置和所述出水口位置的水温值。

3.根据权利要求2所述的双螺旋主轴温控系统,其特征在于,所述控制机构包括:

控制器,所述控制器与所述第一传感器、所述第二传感器和所述供水机构控制连接,用于获取所述进水口位置和所述出水口位置的水温值并计算两者的温差值,并根据所述温差值控制所述供水机构的供水量。

4.根据权利要求3所述的双螺旋主轴温控系统,其特征在于,所述供水机构包括:

水冷机、进水管道和出水管道;所述进水管道连通在所述水冷机的出口和所述进水口之间,所述出水管道连接在所述出水口和所述水冷机的进口之间,用于在所述进水通路、所述出水通路和所述水冷机之间形成循环的流道。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的双螺旋主轴温控系统,其特征在于,所述双螺旋轴套的端部设置有双密封圈,并通过所述双密封圈端面密封。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的双螺旋主轴温控系统,其特征在于,两个所述螺旋凹槽的螺旋螺距均为15mm,槽宽均为4mm。

7.根据权利要求4所述的双螺旋主轴温控系统,其特征在于,所述控制器上设置有IO接口,所述第一传感器、所述第二传感器和所述水冷机通过所述IO接口与所述控制器控制连接。

8.一种双螺旋主轴温控系统的控制方法,其特征在于,包括如权利要求1-7中任一项所述的双螺旋主轴温控系统,方法如下:

供水机构提供冷却水,并在所述进水通路、所述出水通路和所述供水机构之间循环流动;

所述温控机构监测所述进水口位置和所述出水口位置的水温值;

所述控制机构与所述供水机构和所述温控机构控制连接,根据所述温控机构的监测结果控制所述供水机构的供水量。

9.根据权利要求8所述的控制方法,其特征在于,所述控制机构获取所述进水口位置和所述出水口位置的水温值并计算两者的温差值;

当所述温差值大于预设温差值时,所述控制机构控制所述供水机构增加供水量。

10.根据权利要求9所述的控制方法,其特征在于,所述预设温差值为1℃。

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