[发明专利]一种光纤温度传感器在审
| 申请号： | 201811331969.1 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109115364A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 黄惠良;赵瑞申 | 申请（专利权）人： | 上海鸿辉光通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 31289 | 代理人： | 倪继祖 |
| 地址： | 201822 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光纤准直器 反射 插入损耗 接收光纤 光纤温度传感器 发射光纤 环境温度变化 半导体工艺 角度变化 芯片制作 准直光束 灵敏度 反射光 扩束 无源 准直 芯片 成熟 制造 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种光纤温度传感器，其特征在于，包括：
外壳；
安装于所述外壳内，将光信号准直和扩束的光纤准直器；以及
安装于所述外壳内，将来自所述光纤准直器的发射光纤的准直光束反射到所述光纤准直器的接收光纤的MEMS芯片。
2.根据权利要求1所述的光纤温度传感器，其特征在于，所述MEMS芯片的反射角度随温度升高而变大。
3.根据权利要求1所述的光纤温度传感器，其特征在于，所述光纤准直器是单纤的，发射光纤和接收光纤为同一根光纤。
4.根据权利要求1所述的光纤温度传感器，其特征在于，所述光纤准直器是双纤或者多纤的，发射光纤和接收光纤为不同的光纤。
5.根据权利要求1所述的光纤温度传感器，其特征在于，所述MEMS芯片包括底座、温度应变驱动臂和MEMS微镜；
所述MEMS微镜的工作面反射光线；
所述温度应变驱动臂连接底座和MEMS微镜；初始状态时，MEMS微镜和底座平行，当环境温度变化时，温度应变驱动臂发生形变，驱动MEMS微镜偏转。
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