[发明专利]承载台表面的处理方法

权利要求书

1.一种承载台表面的处理方法，其特征在于，包括步骤：

提供承载台，所述承载台具有承载面；

对所述承载面进行细化晶粒处理；

经过细化晶粒处理后，采用盐浴氮碳共渗工艺对所述承载面进行处理。

2.如权利要求1所述承载台表面的处理方法，其特征在于，所述细化晶粒处理为喷丸处理或者形变热处理细化或者球磨细化处理。

3.如权利要求2所述的承载台表面的处理方法，其特征在于，所述喷丸处理中喷丸采用钢丸或者陶瓷丸。

4.如权利要求3所述的承载台表面的处理方法，其特征在于，所述喷丸的直径为0.7-0.9mm。

5.如权利要求3所述的承载台表面的处理方法，其特征在于，所述喷丸处理中喷丸速度为2700-2800r/min、喷丸时间为4.5-5min。

6.如权利要求1所述承载台表面的处理方法，其特征在于，所述盐浴氮碳共渗工艺中采用基盐或基盐和调整盐。

7.如权利要求6所述承载台表面的处理方法，其特征在于，所述基盐成分包括：质量百分数为42.8％-46.8％的Na₂CO₃、质量百分数为26-30％的KOH、质量百分数为8.6-10.6％的K₂CO₃、质量百分数为15-17％的CO(NH₂)₂、质量分数为1.6％的Li₂CO。

8.如权利要求6所述承载台表面的处理方法，其特征在于，所述调整盐的成分包括：质量百分数为61.7％-71.7％的C₃H₆N₆、质量百分数为28.3％-38.3％的CO(NH₂)₂。

9.如权利要求6所述承载台表面的处理方法，其特征在于，当所述盐浴氮碳共渗工艺采用基盐时，工艺步骤包括：

将所述基盐放入坩埚中，均匀搅拌；

搅拌后，将所述坩埚放入加热炉中加热，使所述基盐呈熔融状态；

用熔融的所述基盐对所述承载面进行处理。

10.如权利要求6所述承载台表面的处理方法，其特征在于，所述盐浴氮碳共渗工艺采用基盐和调整盐时，工艺步骤包括：

将所述基盐放入坩埚中，均匀搅拌；

搅拌后，将所述坩埚放入加热炉中加热，使所述基盐呈熔融状态；

在熔融的所述基盐中加入调整盐后，对所述承载面进行处理。

11.如权利要求10所述承载台表面的处理方法，其特征在于，当所述盐浴氮碳共渗工艺采用基盐和调整盐时，所述调整盐与所述基盐的质量比在0.03-0.05之间。

12.如权利要求9或10任一项所述承载台表面的处理方法，其特征在于，所述搅拌时间为5～10min。

13.如权利要求9或10任一项所述承载台表面的处理方法，其特征在于，所述坩埚放入加热炉中加热后所述坩埚内温度为585-595℃，所述坩埚加热时间为25-28min。

14.如权利要求9或10任一项所述承载台表面的处理方法，其特征在于，所述加热炉加热的温度为580-600℃，所述加热炉加热时间为2.5-3h。

15.如权利要求1所述承载台表面的处理方法，其特征在于，在对所述承载面进行细化晶粒处理之前，还包括步骤：

对所述承载面进行清洁和干燥处理。