[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201811333824.5 | 申请日: | 2018-11-09 |
公开(公告)号: | CN109860158A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 胡致嘉;陈明发;詹森博;叶松峯;袁景滨 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L25/065 | 分类号: | H01L25/065;H01L23/495;H01L23/488;H01L23/48 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 顾伯兴 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接合垫 钝化层 半导体装置 接合 第二管 管芯 彼此接合 衬底 | ||
【权利要求书】:
1.一种半导体装置,其特征在于,包括:
第一管芯,包括:
第一钝化层,设置在第一衬底上;以及
第一接合垫,设置在所述第一钝化层上;以及
第二管芯,包括:
第二钝化层,所述第二钝化层接合到所述第一钝化层;以及
第二接合垫,设置在所述第二钝化层中,所述第二接合垫中的每一者接合到所述第一接合垫中的一者,所述第二接合垫包括内接合垫及外接合垫,所述外接合垫的直径大于所述内接合垫的直径。
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