[发明专利]X射线测量装置有效
| 申请号： | 201811334347.4 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109946329B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 三好寿顕;藤原健;加藤英俊;铃木良一 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社;国立研究开发法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203;G01N23/04 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚;习冬梅 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射线 测量 装置 | ||
1.一种X射线测量装置，其特征在于，具备：
X射线照射部，其对测量对象照射X射线；
X射线检测部，其检测与在上述测量对象上反射的后方散射X射线对应的电信号；
测量部，其参照由上述X射线检测部检测出的电信号来测量上述测量对象；
开口部，其使上述后方散射X射线通过，并形成有使上述后方散射X射线在上述X射线检测部上成像的开口；以及
过滤器，配置于上述后方散射X射线的行进方向的相对于上述开口部的上游侧以及下游侧的每一个，使规定的能源量的X射线透射，上述过滤器沿着上述后方散射X射线的直线路径配置。
2.根据权利要求1所述的X射线测量装置，其特征在于，上述X射线检测部具备：
保持部，其包含氧化物半导体，并保持与上述后方散射X射线对应的电信号；以及
传送部，其包含氧化物半导体，并将保持于上述保持部的上述电信号向上述测量部传送。
3.根据权利要求1所述的X射线测量装置，其特征在于：
上述X射线检测部的检测面的中心配置于相对于从上述X射线照射部照射的X射线的中心线的角度为150°至180°的范围内的位置。
4.根据权利要求1所述的X射线测量装置，其特征在于：
具备多个上述X射线检测部，具备立体图像生成部，其根据上述多个X射线检测部的检测结果生成立体图像。
5.根据权利要求1所述的X射线测量装置，其特征在于：
具备多个上述X射线检测部，
具备多个上述开口部，其与上述多个X射线检测部的每一个对应地设置，并分别形成有开口直径不同的开口。
6.根据权利要求1所述的X射线测量装置，其特征在于，具备：
透射X射线检测部，其检测透射了上述测量对象的透射X射线。
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