[发明专利]一种消偏分光棱镜及其制备方法在审
申请号: | 201811338527.X | 申请日: | 2018-11-12 |
公开(公告)号: | CN109581555A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 汤兆胜;罗新华 | 申请(专利权)人: | 江西兆九光电技术有限公司 |
主分类号: | G02B5/04 | 分类号: | G02B5/04;G02B1/10;G02B1/14;C23C14/32;C23C14/10 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 334199 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分光棱镜 分光膜 棱镜 基底 介质层 金属层 制备 膜层附着力 粘结加强层 工艺制备 吸收特性 硬度差 | ||
1.一种消偏分光棱镜,其特征在于,包括至少两块棱镜基底,两块所述棱镜基底之间镀有消偏分光膜,所述消偏分光膜包括具有吸收特性的金属层以及镀于所述金属层表面的介质层,所述介质层与所述棱镜基底之间镀有粘结加强层。
2.根据权利要求1所述的消偏分光棱镜,其特征在于,所述粘结加强层包括打底层以及过渡层,所述过渡层镀于所述介质层的表面,所述打底层镀于所述过渡层的表面以供与所述棱镜基底粘合。
3.根据权利要求2所述的消偏分光棱镜,其特征在于,所述打底层为SiO2膜层,所述过渡层为Al2O3膜层。
4.根据权利要求1至3任一所述的消偏分光棱镜,其特征在于,所述有粘结加强层的表面还镀有防水保护层。
5.根据权利要求4所述的消偏分光棱镜,其特征在于,所述防水保护层为SiO2膜层。
6.根据权利要求1所述的消偏分光棱镜,其特征在于,每块所述棱镜基底为三角棱镜或直角棱镜,所述消偏分光膜镀于两块所述棱镜基底的任意两个接触面之间。
7.一种消偏分光棱镜制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供至少两块的棱镜基底,其中,两块所述棱镜基底的任意两个接触面之间镀有包括金属层以及介质层的消偏分光膜;
于所述棱镜基底与所述介质层之间镀制粘结加强层。
8.根据权利要求6所述的消偏分光棱镜制备方法,其特征在于,镀制所述粘结加强层包括以下步骤:
提供打底层以及过渡层,将所述过渡层镀制于所述介质层的表面,将所述打底层镀制于所述过渡层的表面以供与所述棱镜基底粘合。
9.根据权利要求6或7所述的消偏分光棱镜制备方法,其特征在于,还包括以下步骤:
于所述有粘结加强层的表面镀制防水保护层。
10.根据权利要求8所述的消偏分光棱镜制备方法,其特征在于,还包括以下步骤:通过离子辅助镀膜技术,在镀制所述打底层以及所述防水保护层时,采用End-Hall离子源进行离子束辅助镀膜。
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