[发明专利]一种三维可偏摆的高速精密微运动平台有效
申请号: | 201811340450.X | 申请日: | 2018-11-12 |
公开(公告)号: | CN109079767B | 公开(公告)日: | 2023-09-12 |
发明(设计)人: | 高健;张揽宇;钟耿君;梁俊朗;张金迪;刘亚超;赵光同;万宇;王佳印 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | B25J9/00 | 分类号: | B25J9/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;唐京桥 |
地址: | 510060 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 三维 可偏摆 高速 精密 运动 平台 | ||
1.一种三维可偏摆的高速精密微运动平台,其特征在于,包括:单级杠杆组和动平台;
所述单级杠杆组包括:连杆、第一柔性铰链、第二柔性铰链、末端铰链、压电陶瓷、杠杆臂;
所述连杆的一端通过所述第一柔性铰链与所述杠杆臂的一端连接;
所述末端铰链与所述杠杆臂的另一端连接;
所述压电陶瓷的底端固定,所述压电陶瓷的顶端通过所述第二柔性铰链与所述杠杆臂连接;
所述末端铰链与所述动平台连接;
所述末端铰链包括:上固定平台、下固定平台、第一柔性片和第二柔性片;
所述第一柔性片和所述第二柔性片呈十字交叉一体化连接,设置于所述上固定平台与所述下固定平台之间,并分别通过所述上固定平台与所述动平台连接,通过所述下固定平台与所述杠杆臂连接;
所述单级杠杆组的数量为3个,3个所述单级杠杆组的所述末端铰链作为等边三角形的三个顶点,呈等边三角形连接;
所述等边三角形的三个边错位连接;
所述三维可偏摆的高速精密微运动平台还包括:基座;
所述单级杠杆组固定在所述基座上;
所述杠杆臂上设置有与所述下固定平台的固定孔对应的第二螺栓固定位,所述下固定平台通过第二螺栓固定在所述第二螺栓固定位上。
2.根据权利要求1所述的三维可偏摆的高速精密微运动平台,其特征在于,所述连杆为L形连杆。
3.根据权利要求1所述的三维可偏摆的高速精密微运动平台,其特征在于,所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链均为直梁型柔性铰链。
4.根据权利要求1所述的三维可偏摆的高速精密微运动平台,其特征在于,所述第一柔性片和所述第二柔性片均为直圆柔性片。
5.根据权利要求1所述的三维可偏摆的高速精密微运动平台,其特征在于,所述动平台为圆形动平台。
6.根据权利要求1所述的三维可偏摆的高速精密微运动平台,其特征在于,所述杠杆臂为棱柱形杠杆臂。
7.根据权利要求1所述的三维可偏摆的高速精密微运动平台,其特征在于,所述动平台上设置有第一螺栓固定位,所述上固定平台通过第一螺栓固定在所述第一螺栓固定位上。
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