[发明专利]气体混配方法及气体混配系统

权利要求书

1.一种气体混配方法，其特征在于，包括以下步骤：

a.根据所需混合气体中各组分气体的含量，计算出不同气体的分压P_i；

b.将混气罐抽真空；

c.向所述混气罐中输入第一种气体，当所述混气罐中的压力P达到第一种气体的分压P₁时，停止输入第一种气体；

d.向所述混气罐中输入第二种气体，当所述混气罐中的压力P达到第一种气体的分压与第二中气体的分压的和值P₁+P₂时，停止输入第二张种气体；

e.依次向所述混气罐中输入第N种气体，所述混气罐中的压力P达到所有N种气体的分压的和值时，气体混合结束；

f.将所述气调箱抽真空；

g.将所述混气罐内的混合气体输送至所述气调箱中。

2.如权利要求1所述的气体混配方法，其特征在于，所述混气罐上设置有压力控制器，并引入PLC控制系统，将步骤a中所得的各组分气体的分压预写入所述压力控制器，当所述混气罐中的压力P达到第M种气体的分压的和值时，其中，M∈[2，N]，通过所述PLC控制系统，自动停止进气。

3.如权利要求1所述的气体混配方法，其特征在于，步骤b中，在将所述混气罐抽真空前，向所述混气罐中通入所述第一种气体，以对所述混气罐内气体进行置换；步骤f中，在将所述气调箱抽真空前，向所述气调箱通入所述混气罐中的混合气体，以对所述气调箱内气体进行置换。

4.一种气体混配系统，用以实现如权利要求1～3中任意一项所述的气体混配方法，其特征在于，包括进气装置、混气装置、气调箱及压力控制装置，所述进气装置、所述混气装置与所述气调箱依次连接；

所述进气装置包括至少两个供气气瓶及进气管道，所述混气装置包括混气罐及真空泵，所述进气管道的一端连接于所述供气气瓶的出口，且另一端连接于所述混气罐的入口；所述混气罐用于接收并混合由所述输气管道输送的气体，所述真空泵入口分别连接于所述混气罐及所述气调箱，所述混气罐的出口连接于所述气调箱的入口；

所述压力控制装置包括压力控制器及进气阀门组件，所述压力控制器安装于所述混气罐上，用于检测所述混气罐中的压力，所述进气阀门组件设置于所述进气管道上，且与所述供气气瓶数量相同，以当所述压力控制器检测得到的压力值达到预定值时，切断进气。

5.如权利要求4所述的气体混配系统，其特征在于，所述进气阀门组件包括依次连接的减压阀、截止阀及止逆阀，所述截止阀用于切断气流通道，所述止逆阀用于防止气体回流。

6.如权利要求5所述的气体混配系统，其特征在于，所述截止阀为气动截止阀或电磁截止阀，所述压力控制器与所述截止阀电性连接，以通过所述压力控制器控制所述截止阀自动开启或关闭。

7.如权利要求6所述的气体混配系统，其特征在于，所述进气装置包括第一气瓶、第二气瓶、第三气瓶及输气管道；所述进气阀门组件包括第一进气阀组、第二进气阀组及第三进气阀组，所述第一气瓶、所述第二气瓶与所述第三气瓶的出口分别连接于所述输气管道，所述第一进气阀组、所述第二进气阀组与所述第三进气阀组分别安装于所述输气管道上，且并联设置，以分别控制所述第一气瓶、所述第二气瓶及所述第三气瓶内气体的流向。

8.如权利要求4～7中任意一项所述的气体混配系统，其特征在于，还包括调压装置，所述调压装置的入口端连接于所述混气罐，且出口端连接于所述气调箱；所述调压装置包括并联设置的加压组件及减压组件，所述加压组件入口端连接于所述混气罐，且出口端连接于所述气调箱，以将所述混气罐内的混合气体加压输送至所述气调箱；所述减压组件入口端连接于所述混气罐，且出口端连接于所述气调箱，以将所述混气罐内的混合气体减压输送至所述气调箱。

9.如权利要求8所述的气体混配系统，其特征在于，所述进气装置还包括气体加压泵，所述气体加压泵的入口端连接于所述供气气瓶的出口，且出口端连接于所述输气管道，以将所述供气气瓶内的气体加压输送至所述混气瓶中。

10.如权利要求8所述的气体混配系统，其特征在于，所述混气装置还包括温度控制组件，所述温度控制组件设置于所述输气管道上，以调节进入所述混气罐内的气体的温度。