[发明专利]用于光配向的掩膜板及用于光配向的掩膜组

权利要求书

1.一种用于光配向的掩膜板，包括至少一个掩膜图形区域，其特征在于，每个所述掩膜图形区域包括非连续部和位于所述非连续部两侧的连续部，所述连续部用于和其它掩膜板上的掩膜图形区域的连续部接续，所述连续部包括多个透光部和多个不透光部，所述透光部和所述不透光部沿所述掩膜板的横向交替排列；

每个所述连续部中的所述透光部和与所述连续部接续的其他掩膜板的连续部的不透光部在所述掩膜板的板面上的投影相互重合，且所述不透光部和与所述连续部接续的其他掩膜板的连续部的透光部在所述掩膜板的板面上的投影相互重合。

2.根据权利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每个所述连续部的多个所述透光部和多个所述不透光部均呈等间距排列。

3.根据权利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每个所述连续部的多个所述透光部中，每相邻两根所述透光部之间的间距不相等，且每相邻两根所述不透光部之间的间距不相等。

4.根据权利要求3所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每个所述连续部的多个所述透光部中，每个所述透光部的宽度从靠近所述非连续部的一侧朝向远离所述非连续部的一侧逐渐变窄；和/或，

每个所述连续部的多个所述不透光部中，每个所述不透光部的宽度从靠近所述非连续部的一侧朝向远离所述非连续部的一侧逐渐变宽。

5.根据权利要求4所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每个所述连续部的多个所述透光部中，每相邻两个所述透光部的宽度的减少量均相等。

6.根据权利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，所述透光部和所述不透光部均为沿所述掩膜板的纵向延伸的条纹。

7.根据权利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每个所述掩膜图形区域所包括的位于所述非连续部两侧的连续部相对于所述掩膜图形区域的纵向轴线呈轴对称图形。

8.根据权利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，所述掩膜图形区域为至少两个，所有所述掩膜图形区域大小和形状均相同，且所述至少两个掩膜图形区域在所述掩膜板的纵向上的投影彼此对齐并形成一列。

9.一种用于光配向的掩膜组，其特征在于，包括至少两个如权利要求1至8任一项所述的掩膜板，相邻两个所述掩膜板在所述掩膜板的纵向上的位置彼此错开，相邻两个所述掩膜板的相互接续的连续部的透光部在所述掩膜板的纵向上的投影彼此互补，并能够拼合为一个连续的整体。

10.根据权利要求9所述的用于光配向的掩膜组，其特征在于，单个所述掩膜板的连续部在所述掩膜板的纵向上的投影形成轴对称图形。